中古機 ピラニーゲージ アルバック　Ulvac製、型式SP1のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、気体の熱伝導を利用して低真空領域の圧力を測定するトランスミッタ型のピラニ真空計です。最大の特徴は、真空系の圧力を検知するセンサ部（測定子）と、信号を処理する制御回路がコンパクトな一つの筐体に一体化されている点です。これにより、専用の表示器や独立したコントローラーを別途用意する必要がなくなり、装置周辺の省スペース化および配線の簡略化を大きく推進します。

測定範囲は0.4 Paから3,000 Paまでをカバーしており、真空ポンプの粗引きラインにおける圧力監視や、各種真空プロセスの初期排気状態のモニタリングに最適です。同等のシリーズラインナップには大気圧まで測定可能な広領域モデルも存在しますが、本機は低真空帯の実用的な測定範囲に特化することで安定したデータ取得を可能にしています。

外部出力としてアナログ電圧信号を直接送信できるため、装置に搭載されたPLC（プログラマブル・ロジック・コントローラ）や外部制御機器への組み込みが非常に容易です。半導体製造装置、真空乾燥機、コーティング装置、各種分析機器など、継続的かつ確実な真空度の監視が求められる産業用システムにおいて、コストダウンと高効率なシステム構築に貢献する計器です。

【AIによる参考仕様】
・測定原理: 気体熱伝導式（ピラニゲージ）
・測定範囲: 0.4 Pa ～ 3,000 Pa
・構造タイプ: センサ・回路一体型（トランスミッタ型）
・出力信号: アナログ電圧出力（非線形）
・駆動電源: DC 24V（仕様により DC 12V～24V の許容範囲）
・接続フランジ: NW16、NW25、R1/8 等のいずれか（※実機の継手形状をご確認ください）
・主な用途: 真空装置の粗引き排気ラインの圧力モニタリング、プロセス制御機器への組み込み用センサ、インターロック用の圧力監視