中古 ピラニーゲージ
メーカー名
アルバック Ulvac
型式G-TRAN
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
20,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、各種真空装置の粗引きから中真空領域の圧力測定に広く用いられるトランスミッタ型の定温度型ピラニー真空計です。大気圧付近から高真空（5.0×10^-4 Pa ～ 3000 Pa）までの広範囲な圧力を連続的に測定することが可能です。
最大の特徴は、センサーユニットと測定回路がコンパクトに一体化されたトランスミッタ設計を採用している点です。これにより、従来の据え置き型コントローラーを必要とせず、装置への組み込みにおける省スペース化や配線の簡略化に大きく貢献します。
測定原理には、気体の熱伝導率と圧力の相関関係を利用したピラニー方式を採用しています。センサー内部の白金フィラメントを常に一定の温度に保つようフィードバック制御を行い、その温度維持に必要な投入電力の増減から圧力を算出します。この定温度方式により、圧力変化に対する応答性が非常に高く、安定した連続測定を実現しています。
主にアナログ電圧出力（DC 0～10V）を備えており、PLC（プログラマブルロジックコントローラ）などの上位制御機器への直接取り込みが容易です。半導体製造装置、FPD製造装置、真空炉、真空乾燥機、および真空排気ユニットの圧力モニタリングなど、産業分野における多様なプロセス制御で信頼性の高い計測デバイスとして利用されています。
【AIによる参考仕様】
・測定原理: 定温度型ピラニー真空計
・測定圧力範囲: 5.0×10^-4 Pa ～ 3000 Pa
・出力信号: アナログ出力 DC 0 ～ 10V（非線形Log出力）
・電源電圧: DC 24V（許容変動範囲 ±10%程度）
・消費電力: 約 2 W（最大時）
・適合センサヘッド: WPシリーズ（WP-01, WP-02, WP-03, WP-16 など）
・接続継手（フランジ）例: NW16, NW25, R1/8, φ15・φ18 ゲージポートなど ※装着されているセンサヘッドに依存
・セットポイント出力: リレー接点出力（設定機能搭載モデルのみ）
・使用周囲温度範囲: 10℃ ～ 50℃
・保管温度範囲: -20℃ ～ 60℃
・使用周囲湿度範囲: 15% ～ 80% RH（結露なきこと）
※本シリーズには複数のバリエーション（リニア出力仕様やインターフェースの違い）が存在し、測定範囲やフランジ規格は装着されているセンサヘッドの型番（WPシリーズ等）によって異なります。上記は同シリーズのピラニーゲージにおける標準的な参考値となります。実機のご利用にあたっては、必ず現物の銘板やピンアサイン等をご確認ください。
本装置は、各種真空装置の粗引きから中真空領域の圧力測定に広く用いられるトランスミッタ型の定温度型ピラニー真空計です。大気圧付近から高真空（5.0×10^-4 Pa ～ 3000 Pa）までの広範囲な圧力を連続的に測定することが可能です。
最大の特徴は、センサーユニットと測定回路がコンパクトに一体化されたトランスミッタ設計を採用している点です。これにより、従来の据え置き型コントローラーを必要とせず、装置への組み込みにおける省スペース化や配線の簡略化に大きく貢献します。
測定原理には、気体の熱伝導率と圧力の相関関係を利用したピラニー方式を採用しています。センサー内部の白金フィラメントを常に一定の温度に保つようフィードバック制御を行い、その温度維持に必要な投入電力の増減から圧力を算出します。この定温度方式により、圧力変化に対する応答性が非常に高く、安定した連続測定を実現しています。
主にアナログ電圧出力（DC 0～10V）を備えており、PLC（プログラマブルロジックコントローラ）などの上位制御機器への直接取り込みが容易です。半導体製造装置、FPD製造装置、真空炉、真空乾燥機、および真空排気ユニットの圧力モニタリングなど、産業分野における多様なプロセス制御で信頼性の高い計測デバイスとして利用されています。
【AIによる参考仕様】
・測定原理: 定温度型ピラニー真空計
・測定圧力範囲: 5.0×10^-4 Pa ～ 3000 Pa
・出力信号: アナログ出力 DC 0 ～ 10V（非線形Log出力）
・電源電圧: DC 24V（許容変動範囲 ±10%程度）
・消費電力: 約 2 W（最大時）
・適合センサヘッド: WPシリーズ（WP-01, WP-02, WP-03, WP-16 など）
・接続継手（フランジ）例: NW16, NW25, R1/8, φ15・φ18 ゲージポートなど ※装着されているセンサヘッドに依存
・セットポイント出力: リレー接点出力（設定機能搭載モデルのみ）
・使用周囲温度範囲: 10℃ ～ 50℃
・保管温度範囲: -20℃ ～ 60℃
・使用周囲湿度範囲: 15% ～ 80% RH（結露なきこと）
※本シリーズには複数のバリエーション（リニア出力仕様やインターフェースの違い）が存在し、測定範囲やフランジ規格は装着されているセンサヘッドの型番（WPシリーズ等）によって異なります。上記は同シリーズのピラニーゲージにおける標準的な参考値となります。実機のご利用にあたっては、必ず現物の銘板やピンアサイン等をご確認ください。