中古機 ピラニーゲージ アルバック　Ulvac製、型式SPUのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、気体の熱伝導率が圧力に依存する性質を利用して真空度を測定する、熱伝導式真空計（ピラニ真空計）です。内部の測定子に張られた金属細線（フィラメント）に電流を流して加熱し、周囲の気体分子が奪う熱量の変化を電気抵抗の変化として検出することで、大気圧付近から中真空領域までの連続的な圧力測定を行います。

真空装置の粗引きラインの圧力監視、チャンバーの真空到達確認、およびバルブ開閉のインターロック制御など、真空プロセスの自動化において極めて重要な役割を担います。フィラメント材質には耐食性と長期安定性に優れた白金（Pt）等が採用されており、半導体製造や理化学実験、一般産業用真空装置など幅広い環境下で使用可能です。

また、本シリーズは同一の公式仕様ページ内で、測定範囲やセットポイント（接点出力）機能の有無、接続フランジ形状が異なる複数の派生モデルが統合して紹介されています。そのため、上位の制御機器（PLCなど）との接続を前提としたアナログ電圧出力の仕様や、特定圧力に達した際に信号を出すリレー接点の数などは、実際の枝番や運用要件によって異なります。運用時は接続先のシステムに適合した制御が行えるよう設計されています。

【AIによる参考仕様】
・測定原理: 定温度型ピラニ真空計（熱伝導式）
・測定圧力範囲: 約 4.0×10^-1 Pa ～ 3.0×10^3 Pa
（※広帯域対応の派生モデルの場合は 5.0×10^-2 Pa ～ 1.0×10^5 Pa）
・フィラメント材質: 白金（Pt）またはタングステン（W）
・出力信号: アナログ電圧出力 DC 0 ～ 10V（対数線形または非線形出力）
・電源電圧: DC 24V （または専用コントローラからの供給）
・セットポイント出力: リレー接点出力（モデルにより1点～複数点装備）
・接点容量（参考）: AC 125V / 0.5A または DC 30V / 1A 等
・使用周囲温度範囲: 0 ～ 50 ℃
・接続フランジ（真空継手）: NW16、NW25、R1/8 等
・適用流体: 非腐食性気体および一般大気

※公式ページ等では複数の派生型式が併記されているため、上記は本シリーズにおける代表的な仕様値となります。接点出力の有無や正確な測定レンジ等の細部については、実機の銘板に記載された詳細型式に基づく確認が必要です。