中古機 ピラニーゲージ インフィコン製、型式PSG400のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、真空プロセスにおける大気圧から中真空領域の圧力測定を目的とした熱伝導式真空計です。気体の熱伝導率が圧力に依存する原理を利用しており、真空チャンバーや配管内の圧力を連続的かつ安定してモニタリングすることが可能です。主に5×10^-4 mbarから1000 mbar（大気圧）までの幅広い測定範囲をカバーしており、粗引きポンプの圧力監視、プロセス制御、真空システムにおける各種インターロックのトリガーなど、多様な真空アプリケーションで利用されます。

センサーチューブ内には精密なフィラメント（熱線）が配置されており、気体分子による熱奪取量の変化を高感度に検知し、電気信号へと変換します。測定用のエレクトロニクス部とセンサー部が一体化したコンパクトな設計を採用しているため、真空配管や装置への組み込みが容易であり、システムの省スペース化に貢献します。半導体製造装置、各種分析機器、真空コーティングシステム、ならびに一般真空研究などの幅広い分野において、再現性と信頼性の高い圧力測定ソリューションとして活用されるモデルです。

【AIによる参考仕様】
・測定原理: 熱伝導式（ピラニーゲージ）
・測定範囲: 5×10^-4 ～ 1000 mbar （約 5×10^-2 ～ 1×10^5 Pa）
・測定精度 (目安):
　- 1×10^-3 ～ 100 mbar: 読み値の約±15%
　- 5×10^-4 ～ 1×10^-3 mbar: 読み値の約±50%
　- 100 ～ 1000 mbar: 読み値の約±50%
・再現性: 1×10^-3 ～ 100 mbarにおいて読み値の約±2%
・最大許容圧力（過圧耐性）: 10 bar (絶対圧)
・出力信号: アナログ対数電圧出力（測定範囲に応じたログリニア特性、標準 0 ～ +10 VDC）
・許容温度範囲:
　- 動作時 (周囲温度): +5 ℃ ～ +60 ℃
　- 保管時: -20 ℃ ～ +65 ℃
　- ベークアウト温度: 最大 +150 ℃ （エレクトロニクス部を取り外した場合）
・フィラメント（センサー）材質: タングステン（W）
・主な接ガス部材質: ステンレス鋼、ニッケル、ガラス
・電源電圧: +14 ～ +30 VDC
・真空接続フランジ: DN 16 ISO-KF （バリエーションにより異なる場合があります）
・保護等級: IP40

※上記は当該シリーズの標準的な仕様に基づいた参考データです。マイナーチェンジやオプション構成等により一部の仕様（フランジ形状や接ガス部材質など）が現品と異なる場合がありますので、実際の搭載状況やインターフェースについては実機をご確認ください。