中古機 ピラニーゲージ アルバック　Ulvac製、型式SPUのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、気体の熱伝導を利用して低・中真空領域の圧力を測定するピラニー真空計です。センサ部と信号処理回路が一体化されたトランスデューサ型構造を採用しており、別途大型の専用コントローラーを設けることなく、省スペースで真空ラインへの組み込みが可能です。主に半導体製造装置のロードロック室、真空排気システムの粗引きラインモニタ、および各種真空装置の圧力監視など、幅広い産業用途で利用されています。

公式ページでは接続フランジ径や出力インターフェースの異なる複数の派生モデルが同一ページにラインナップされていますが、本モデルは標準的なアナログ電圧出力を備え、PLCなどの上位制御機器と直接連携できる設計となっています。独自の温度補償回路を搭載しており、周囲温度の変動に対する影響を最小限に抑え、0.4 Paから3000 Paまでの広帯域において安定した連続モニタリングを実現します。また、耐環境性にも優れ、長期間の使用においても高い再現性と信頼性を維持します。

【AIによる参考仕様】
・測定原理: 定温度型ピラニ真空計（熱伝導式）
・測定圧力範囲: 0.4 Pa ～ 3000 Pa
・出力信号: アナログ電圧出力 DC 0 V ～ 10 V（非線形出力）
・測定精度:
　　0.4 Pa ～ 10 Pa帯: 読み値の±20%以内
　　10 Pa ～ 1000 Pa帯: 読み値の±10%以内
・再現性: ±2%
・供給電源: DC 24 V（許容変動幅 ±10%）
・消費電力: 最大 約 2 W
・接続フランジ仕様: NW16 または NW25（公式ページ上の複数型式展開に基づく。現物の接続口径をご確認ください）
・フィラメント材質: 白金（Pt）
・使用周囲温度範囲: 10 ℃ ～ 50 ℃
・使用周囲湿度範囲: 80 %RH以下（結露なきこと）
・質量: 約 0.2 kg（NW16フランジ仕様の場合）

※本仕様は公式ページの同シリーズ製品群から当該モデルの基本数値を抽出した参考情報です。実際のフランジ径、設定値リレー出力（セットポイント）の有無などについては、現物の銘板情報および外観をご確認ください。