中古機 ターボ分子ポンプコントローラー 島津製作所　Shimadzu製、型式EI-D3203Mのご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、排気速度3200 L/sクラスの磁気軸受式ターボ分子ポンプ（TMP-3203LMやTMP-3203LMC等）を駆動・制御するための専用電源コントローラーです。高度なデジタル制御による5軸アクティブ磁気軸受方式を採用しており、大型のポンプローターを完全に非接触の状態で安定して高速回転させます。これにより、機械的摩耗を排除した長寿命かつ低振動での高真空排気環境を提供します。

フロントパネルにはLCDディスプレイを備えており、ポンプの回転数、モーターの出力電流、ローターの浮上状態、各種アラーム履歴などの運転ステータスをリアルタイムで確認・設定することが可能です。また、予期せぬ停電や重大な異常が発生した際に備え、ローターを安全に減速・着地させるためのバックアップバッテリーを内蔵した保護回路が標準で搭載されています。

制御用インターフェースとしてRS-232CおよびRS-485シリアル通信を標準装備し、外部I/Oポートを介したシーケンサー等からのリモートコントロールにも対応しています。半導体製造装置やFPD（フラットパネルディスプレイ）製造ラインなど、大排気量と高い信頼性が求められる真空プロセスにおいて、安定したポンプの稼働と精密なシステム制御をサポートするユニットです。

【AIによる参考仕様】
・適合ポンプ: TMP-3203LM, TMP-3203LMC 等（3200 L/sクラス）
・軸受制御方式: デジタル5軸アクティブ磁気軸受制御
・入力電源: 単相 200〜240 V AC ±10% (50/60 Hz)
・消費電力: 約 2.5 kVA (加速時最大) / 約 400 VA (定常回転時)
・通信インターフェース: RS-232C, RS-485
・外部入出力: リモートI/Oコントロール端子
・表示・操作機能: フロントLCDディスプレイおよびメンブレンキー
・保護・安全機能: 停電時バックアップ保護（バッテリー内蔵）、異常検知時の自動減速・保護機能、自己診断機能
・冷却方式: 強制空冷（内蔵冷却ファン）
・使用周囲温度: 0 〜 40 ℃
・設置形態: 19インチラックマウント対応型
・外形寸法: 約 幅 430 × 奥行 450 × 高さ 177 mm (コネクタ等の突起部含まず)
・質量: 約 20 kg

（※上記は該当シリーズの標準的なカタログ情報に基づく参考仕様です。実際の仕様や付属インターフェースは、製造時期やオプション構成により異なる場合があります。）