中古機 ターボ分子ポンプコントローラー 島津製作所　Shimadzu製、型式EI-D2003Mのご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、同社製の2000 L/sクラス磁気軸受型ターボ分子ポンプを駆動・制御するための専用電源コントローラです。5軸制御の能動型磁気軸受システムを採用しており、ポンプ本体のロータを完全非接触で浮上させ、定格回転数まで安定して高速回転させるための緻密な電力供給と位置制御を行います。

フロントパネルには視認性の高いLCDディスプレイおよび操作キーが配置されており、現在の回転数（rpm）、モータ電流値、軸受のステータス、アラーム履歴といった稼働状況をリアルタイムで監視・設定できます。また、オートチューニング機能を備えているため、接続されるポンプ本体の個体差やコントロールケーブルの長さに応じた最適な磁気浮上パラメータを自動で調整し、セットアップの工程を大幅に簡略化します。

外部制御機能として、リモートコントロール用のI/O端子に加え、RS-232CやRS-485などのシリアル通信インターフェースを備えています。これにより、半導体製造装置、FPD製造装置、大型の真空排気システムなどにおいて、上位コントローラ（PLCやPC）と連携した自動運転プロセスの構築が可能です。本体の冷却には強制空冷方式を採用しており、高負荷の連続運転環境下においても安定したパフォーマンスと高い信頼性を維持するよう設計されています。

【AIによる参考仕様】
・対応ポンプ例: TMP-2003M、TMP-2003LM、TMP-2003MC（2000 L/sクラス磁気軸受型ターボ分子ポンプ）
・軸受制御方式: 5軸能動型磁気軸受制御
・入力電源電圧: 単相 AC200V ～ 240V ±10% (50/60 Hz)
・最大入力容量: 約 1.2 kVA（加速時）
・冷却方式: 強制空冷方式（冷却ファン内蔵）
・通信・制御インターフェース: リモートI/O端子、RS-232C、RS-485
・パラメータ調整: オートチューニング機能搭載
・使用周囲温度範囲: 0℃ ～ 40℃
・外形寸法: 幅 482 mm × 奥行き 約 450 mm × 高さ 132 mm （19インチ標準ラックマウント 3Uサイズ相当）
・質量: 約 17 kg
（※上記は標準的な基本仕様であり、ファームウェアのバージョンやオプション構成によって一部異なる場合があります）