中古機 ターボ分子ポンプコントローラー 島津製作所　Shimadzu製、型式EI-D3203Mのご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、排気速度3000 L/sクラスの大型磁気軸受型ターボ分子ポンプ（TMP-3203MやTMP-3203LMCなど）を駆動・制御するための専用電源ユニットです。ポンプ内部のローターを磁気力によって非接触で浮上させる5軸制御能動型磁気軸受システムを採用しており、オイルフリーでクリーンな高真空環境の構築と維持に不可欠な役割を担います。

高度なデジタル制御技術の搭載により、ローターの精密な位置制御と安定した回転駆動を両立しています。フロントパネルにはLCDディスプレイが配置されており、現在の回転数（rpm）、モーターの消費電流値、動作ステータス、およびエラーコードなどの詳細なパラメータをリアルタイムで確認・監視することが可能です。

また、外部機器との連携を前提とした設計となっており、RS-232CやRS-485といったシリアル通信インターフェース、および各種リモートI/Oポートを備えています。これにより、真空装置本体やPLC（プログラマブルロジックコントローラ）と連動した自動排気シーケンスへの組み込みに対応します。半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ製造装置、大型の真空蒸着装置など、高い信頼性が求められる排気システムの中核として運用される仕様となっています。

【AIによる参考仕様】
・適用ターボ分子ポンプ：TMP-3203M、TMP-3203LMC、TMP-3403M など
・軸受制御方式：5軸制御能動型磁気軸受
・入力電源：単相 AC200V〜240V ±10%（50/60 Hz）
・消費電力（起動時）：最大 約 1.5 kVA
・消費電力（定常時）：約 0.3 kVA
・冷却方式：強制空冷（内蔵冷却ファンによる）
・通信・制御インターフェース：RS-232C、RS-485、リモートI/O
・操作・表示部：フロントパネルLCDディスプレイ（回転数、ステータス、アラーム履歴表示対応）
・使用周囲環境温度：0 ℃ 〜 40 ℃
・使用周囲環境湿度：10 % 〜 80 %（結露なきこと）
・筐体規格：EIA 19インチラックマウント対応
・質量：約 17 kg

（※上記は該当シリーズの標準的なカタログデータに基づく参考仕様です。製造時期やオプション構成によって実際の仕様と一部異なる場合があります。）