中古機 ターボ分子ポンプコントローラー ファイファー　Pfeiffer製、型式TCM1601のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや高真空排気システムなどで使用される、磁気軸受式ターボ分子ポンプ専用のドライブユニットおよび制御コントローラーです。5軸制御の磁気軸受システムに高精度な電力を供給し、ローターを非接触で完全浮上させた状態での高速回転を可能にします。これにより、機械的な摩擦や摩耗が排除され、潤滑油を必要としない極めてクリーンな高真空環境の維持に寄与します。

主に排気速度が1000〜2000 L/sクラスの中型から大型の磁気軸受式ターボ分子ポンプと組み合わせて運用される設計となっています。フロントパネルには、ポンプの現在の回転数、モータ電流、各種ステータスやエラーコードをリアルタイムで確認できるディスプレイを搭載しており、機器の状態監視やパラメーターの変更が容易に行えます。

また、RS-232CやRS-485といったシリアル通信インターフェース、および各種接点入出力を備えたリモートI/Oポートを標準装備しており、外部のホストシステムやPLCと連携したフルリモートでの自動制御にも対応しています。さらに、過負荷保護、過熱監視、停電発生時にローターを安全に減速・着地させるためのバックアップ機能（発電制動システムなど）といった各種インターロック機能を内蔵しており、不測の事態においてもシステムの高い信頼性と安全性を確保する構造となっています。

【AIによる参考仕様】
入力電源電圧：単相 200〜240 V AC (±10%)
入力電源周波数：50 / 60 Hz
最大消費電力：約 1500〜1600 VA
制御対象：5軸磁気軸受式ターボ分子ポンプ
冷却方式：強制空冷
対応ポンプ排気速度クラス：約 1000〜2000 L/s
通信インターフェース：RS-232C、RS-485
外部コントロール：リモートI/O接点入出力
使用周囲温度範囲：+5 〜 +40 ℃
保護等級：IP 20
筐体規格：19インチラックマウント対応サイズ (3U相当)