中古機 ターボ分子ポンプコントローラー 島津製作所　Shimadzu製、型式EI-D3203Mのご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、半導体製造プロセスや高真空排気システムなどに用いられる、磁気軸受型ターボ分子ポンプを駆動・制御するための専用電源コントローラです。主に排気速度3,200 L/sクラスの大型ポンプ（TMP-3203LMやTMP-3203LMCなど）に適合する仕様となっています。

筐体内部には、ポンプのロータを完全非接触で空間に浮上させるための5軸制御磁気軸受回路と、ロータを高速回転させるためのモータ駆動用インバータ回路を搭載しています。高度なデジタル制御技術により、ロータの安定した浮上と細かな回転数制御（定格約20,000 rpm）を実現し、振動を極限まで抑えたクリーンな真空排気環境の構築に寄与します。

操作・監視面では、フロントパネルからの直接操作に加え、背面のI/Oポートやシリアル通信（RS-232C等）を介した上位システムからのリモート制御に対応しています。また、オートチューニング機能を備えており、ポンプ接続時のキャリブレーションが容易に行える設計です。さらに、停電時の安全降下機能や、過熱・過電流・異常振動などの各種アラーム検知機能を内蔵しており、突発的なトラブルからシステム全体を保護します。

【AIによる参考仕様】
・適合ポンプ（例）: TMP-3203LM、TMP-3203LMC（排気速度3,000 L/sクラス）
・制御方式: 5軸制御磁気軸受、デジタルインバータモータ駆動
・入力電源: 単相 AC200V～240V ±10%（50/60 Hz）
・最大消費電力: 約 2.5 kVA
・定格回転数設定: 約 20,000 rpm（出力周波数 約 333 Hz）
・冷却方式: 強制空冷（冷却ファン内蔵）
・使用周囲温度範囲: 5℃ ～ 40℃
・外部通信インターフェース: リモートI/O端子、RS-232C（※仕様によりDeviceNetやProfibus等のオプションに対応）
・外形寸法 (W×H×D): 約 430 × 177 × 490 mm（突起部含まず、19インチ標準ラック対応サイズ）
・質量: 約 24 kg

※本仕様は標準的な参考値です。中古品の場合、搭載されている通信基板などのオプション仕様が個体によって異なる場合があります。