中古機 その他真空部品（大気圧センサー） アルバック　Ulvac製、型式SAUのご紹介

【AIによる装置概要】
真空装置のプロセスチャンバーやロードロック室が、大気圧に復帰したことを正確に検知・確認するために使用される大気圧専用のセンサーです。内部には半導体ピエゾ抵抗効果を利用したセンサーチップを搭載しており、大気圧付近の圧力を安定して測定する構造となっています。

一般的な真空計は低真空から高真空領域の測定に特化していますが、本器は10,000 Paから110,000 Pa（絶対圧）の大気圧領域の測定を専用の目的としています。装置の扉やゲートバルブを開放する前の確実な大気圧確認や、他の絶対圧真空計と組み合わせてゲージ圧（大気圧との差圧）を算出するための基準圧測定など、真空システムの自動制御および安全運用（フェイルセーフ）において重要な役割を果たします。

測定された圧力値は、測定圧力範囲に対してDC 1 Vから5 Vの電圧としてリニアにアナログ出力されるため、PLCなどの上位制御機器による信号処理が容易です。表示器を持たないトランスデューサー（センサーユニット単体）であり、装置内への組み込みに適したコンパクトな設計となっています。

【AIによる参考仕様】
・測定圧力範囲: 10,000 ～ 110,000 Pa（絶対圧）
・測定原理: 半導体ピエゾ抵抗効果
・出力信号: アナログ出力 DC 1 ～ 5 V（10,000～110,000 Paに対してリニア出力）
・測定精度: ±2,000 Pa
・電源電圧: DC 12 ～ 24 V
・消費電力: 0.5 W 以下
・使用周囲温度: 0 ～ 50 ℃
・質量: 約100 g（接続フランジの規格により変動）
・接続フランジ・継手: NW16、NW25、R1/8、R1/4など（※バリエーションが存在するため、個別の接続規格については現物をご確認ください）