中古機 バキュームゲージ ファイファー　Pfeiffer製、型式PPT100のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、大気圧から中真空領域にかけての幅広い圧力測定を1台でカバーする複合型バキュームゲージです。内部にピエゾ抵抗センサーとピラニ（熱伝導）センサーという2つの異なる測定素子を内蔵しており、圧力帯に応じて最適な測定原理をシームレスに切り替える機構を備えています。

具体的には、10 hPa以上の高圧力帯ではピエゾセンサーによって圧力を測定します。この領域では測定値がチャンバー内のガス種に依存しないため、大気圧付近での正確な絶対圧モニタリングが可能です。一方、10 hPa未満の中真空領域ではピラニセンサーに切り替わり、下限1×10^-4 hPaまでの微小な真空度を精密に検知します。これにより、大気圧からのポンプダウン工程や、ロードロック室の圧力制御といった、連続的な真空排気プロセスの監視において極めて信頼性の高いデータを提供します。

また、センサー内部のシール材には耐久性に優れたFKM（フッ素ゴム）が使用されており、最大2000 hPaの過圧にも耐えうる堅牢な設計となっています。アナログ電圧での対数信号出力に対応しており、既存の真空装置の制御盤やPLCシステムへ容易に組み込むことが可能です。

【AIによる参考仕様】
測定範囲：1×10^-4 ～ 1200 hPa
測定原理：ピエゾ抵抗センサー / ピラニ（熱伝導）センサー
電源電圧：14 ～ 30 V DC
出力信号：アナログ電圧（対数出力）
最大許容過圧：2000 hPa（絶対圧）
ガス種依存性：10 hPa以上は非依存、10 hPa未満は依存
動作温度範囲：+5 ～ +60 ℃
ベーキング許容温度：最大 80 ℃
保護等級：IP 40
シール材質：FKM