中古 バキュームゲージ
メーカー名
ファイファー Pfeiffer
型式PPT100
年式表記:
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、大気圧付近から低真空領域までの広範囲な圧力を連続して測定するために設計されたコンビネーション真空計トランスミッターです。内部には、気体の熱伝導率を利用して圧力を検知する「ピラニセンサー」と、圧力による隔膜の物理的変位を検知する「ピエゾ(圧電)センサー」という2種類の異なる測定機構が組み込まれています。
高圧力域(およそ数十hPa~大気圧)では、測定対象のガス種に依存せずに高精度な測定が可能なピエゾセンサーが機能し、低圧力域(1×10⁻⁴ hPa~数十hPa)では微小な圧力変化に敏感なピラニセンサーが機能します。この複合機構により、1×10⁻⁴ hPaから1200 hPaまでの全域を単一の装置でシームレスに測定することが可能です。
センサー部と電子制御回路はコンパクトで堅牢な筐体内に一体化されており、測定された圧力値は対数リニアなアナログ電圧信号として出力されます。専用の外部コントローラーを必要とせず、直接PLCや上位の制御システムに接続できるため、真空チャンバーの粗引き排気プロセスの監視、高真空ポンプへの動作切り替え(クロスオーバー)の制御、およびインターロック用の安全センサーとして、分析機器や半導体製造装置などに広く採用されています。
【AIによる参考仕様】
測定原理:ピエゾ / ピラニ コンビネーション方式
測定範囲:1×10⁻⁴ ~ 1200 hPa (mbar)
出力信号:アナログ電圧出力
真空接続フランジ:DN 16 ISO-KF
最大許容過圧:2000 hPa (絶対圧)
供給電源:DC 14 ~ 30 V
動作温度範囲:+5 ℃ ~ +60 ℃
保護等級:IP 54
本装置は、大気圧付近から低真空領域までの広範囲な圧力を連続して測定するために設計されたコンビネーション真空計トランスミッターです。内部には、気体の熱伝導率を利用して圧力を検知する「ピラニセンサー」と、圧力による隔膜の物理的変位を検知する「ピエゾ(圧電)センサー」という2種類の異なる測定機構が組み込まれています。
高圧力域(およそ数十hPa~大気圧)では、測定対象のガス種に依存せずに高精度な測定が可能なピエゾセンサーが機能し、低圧力域(1×10⁻⁴ hPa~数十hPa)では微小な圧力変化に敏感なピラニセンサーが機能します。この複合機構により、1×10⁻⁴ hPaから1200 hPaまでの全域を単一の装置でシームレスに測定することが可能です。
センサー部と電子制御回路はコンパクトで堅牢な筐体内に一体化されており、測定された圧力値は対数リニアなアナログ電圧信号として出力されます。専用の外部コントローラーを必要とせず、直接PLCや上位の制御システムに接続できるため、真空チャンバーの粗引き排気プロセスの監視、高真空ポンプへの動作切り替え(クロスオーバー)の制御、およびインターロック用の安全センサーとして、分析機器や半導体製造装置などに広く採用されています。
【AIによる参考仕様】
測定原理:ピエゾ / ピラニ コンビネーション方式
測定範囲:1×10⁻⁴ ~ 1200 hPa (mbar)
出力信号:アナログ電圧出力
真空接続フランジ:DN 16 ISO-KF
最大許容過圧:2000 hPa (絶対圧)
供給電源:DC 14 ~ 30 V
動作温度範囲:+5 ℃ ~ +60 ℃
保護等級:IP 54
