中古機 マルチセンサ アルバック製、型式CRTS-12のご紹介

【AIによる装置概要】
真空蒸着やスパッタリングなどの薄膜形成プロセスにおいて、成膜レートおよび膜厚をリアルタイムで計測・制御する水晶振動子式膜厚計用のマルチセンサーヘッドです。長時間の連続成膜や厚膜・多層膜の形成など、水晶振動子の消耗が激しいプロセス向けに設計されています。

本機は内部に最大12個の水晶振動子を装填可能なロータリー（回転）機構を備えており、稼働中の振動子が限界寿命（発振停止やレート異常）に達した際、真空チャンバーを大気開放することなく、駆動機構により即座に次の新しい振動子へポジションを切り替えることが可能です。これにより、装置のダウンタイムとメンテナンス頻度を大幅に削減し、安定した連続生産をサポートします。

高温の蒸発源からの輻射熱による計測誤差やセンサー損傷を防ぐための水冷機構を内蔵しています。同シリーズの6個装填モデルと比較して倍の装填数を持つ本機は、特に長時間の連続無人運転や高レートでの成膜が要求される量産用真空プロセスにおいて非常に有効なコンポーネントです。

【AIによる参考仕様】
センサタイプ：水晶振動子式マルチセンサー（ロータリー切替型）
最大装填可能振動子数：12個
対応水晶振動子寸法：外径14mm（主に5MHzまたは6MHz仕様）
センサ切替機構：回転式（外部駆動による順次切替）
冷却方式：水冷式
推奨冷却水流量：1.0〜2.0 L/min
最高許容温度（センサヘッド部）：約300℃（冷却水通水時）
使用環境圧力：高真空領域（10^-5 Pa台以下対応）
主な用途：真空成膜装置における連続膜厚および成膜レート計測