中古機 マルチセンサ アルバック製、型式CRTS-12のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、真空蒸着やスパッタリングをはじめとする薄膜形成プロセスにおいて、成膜レートや膜厚を高精度にモニタリングするための水晶発振式膜厚コントローラ用マルチセンサヘッドです。センサヘッド内部に最大12枚の水晶振動子を同時に装填できるカルーセル（回転）機構を搭載している点が最大の特徴です。成膜プロセス中に使用中の水晶振動子が膜の堆積によって寿命（測定限界）を迎えた際、真空チャンバーを大気開放することなく、自動またはリモート操作で直ちに次の新しい水晶振動子へ切り替えることが可能です。

この12枚装填機能により、長時間の連続バッチ処理、複雑な多層膜コーティング、あるいは極端に厚い膜の形成など、途中でプロセスを中断できない過酷な生産環境において、装置のダウンタイムを大幅に削減し稼働率を飛躍的に向上させます。また、本体には水冷ラインが組み込まれており、高温の蒸発源からの輻射熱による水晶振動子の温度上昇を物理的に防ぎます。これにより、熱による周波数ドリフトを最小限に抑え、長時間の稼働でもナノメートルオーダーの安定した計測精度を維持します。連続成膜制御が要求される高度な量産ラインや研究開発プロセスに最適なコンポーネントです。

【AIによる参考仕様】
・センサ方式: カルーセル式（回転式）マルチセンサヘッド
・水晶振動子装填可能数: 最大12枚
・適用水晶振動子: 水晶発振周波数 5MHz または 6MHz（外径14mm）
・水晶振動子切替機構: モーター駆動等による自動・手動切替
・冷却方式: 水冷式
・推奨冷却水流量: 1.0〜2.0 L/min（プロセス環境により調整）
・対応測定プロセス: 真空蒸着、スパッタリング等の高真空成膜
・主要接ガス部材質: ステンレス鋼（SUS304等）、無酸素銅、フッ素樹脂
・接続・導入端子: 同軸ケーブル接続用端子、冷却水導入パイプ、駆動用フィードスルー