中古機 マルチセンサ アルバック製、型式CRTS-12のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、真空蒸着やスパッタリングなどの真空成膜プロセスにおいて、リアルタイムで膜厚および成膜レートを計測するための水晶振動子式センサヘッドです。最大12個の水晶振動子をあらかじめ装填できるマルチロータリー機構を採用しており、長期間の連続成膜プロセスや、複数の異なる材料を積層する多層膜プロセスにおいて極めて有効に機能します。

成膜中に使用中の水晶振動子が寿命に達したり、突発的な異常が発生したりした場合でも、真空状態を破ることなく外部からの制御で速やかに次段の水晶振動子へ自動または手動で切り替えることが可能です。これにより、装置のダウンタイムを大幅に削減し、安定した生産効率を維持します。

さらに、水冷機構を備えているため、高温となる蒸発源付近の過酷な熱環境下においてもセンサヘッドの温度変動を最小限に抑えます。熱による水晶振動子の周波数ドリフトを防ぐことで、ナノメートルオーダーの高精度な膜厚制御を安定して実現します。主に同社製の膜厚コントローラ（CRTMシリーズ等）と組み合わせて使用され、研究開発用の小型装置から量産ラインの大型真空装置まで、幅広い設備に組み込み可能な設計となっています。

【AIによる参考仕様】
センサ方式：水晶振動子式マルチセンサ
水晶振動子装填数：最大12個
対応発振周波数：5 MHz / 6 MHz（接続する膜厚コントローラに依存）
水晶振動子外径：φ12.4 mm / φ14.0 mm
センサ切替駆動方式：空圧（エア）駆動 または モーター駆動
冷却方式：水冷式（冷却水循環ライン接続要）
センサ部許容温度（水冷時）：約300 ℃
センサ部許容温度（非水冷ベーク時）：約150 ℃
主構成材質：SUS304（ステンレス鋼）、無酸素銅、フッ素樹脂、セラミックス
取付フランジ規格：ICFフランジ または JIS真空フランジ（装置の仕様によりパイプ長等に個体差あり）
対応コントローラ：CRTMシリーズ（同社製）