中古機 ドライポンプ 樫山工業　Kashiyama製、型式MU300-019のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、主に半導体製造やFPD（フラットパネルディスプレイ）製造プロセスなど、高度なクリーン環境と安定した真空排気が求められる設備で使用される多段ルーツ型の水冷式ドライ真空ポンプです。ローター等のガス接液部に潤滑油や封止液を一切使用しない完全なドライ構造を採用しており、真空チャンバー内への油分の逆拡散を防ぎ、清浄な真空環境を維持することができます。

大気圧から高真空領域までの全圧力帯において連続運転が可能であり、60Hz運転時の最大排気速度は約300 m3/h（5000 L/min）、到達圧力は1.0 Pa以下という優れた排気性能を有しています。水冷式の冷却機構を備えることで、長時間の稼働時や過酷なプロセス条件下でも装置内部の熱上昇を効果的に抑え、安定したクリアランスと稼働状態を維持します。

なお、型式末尾の「-019」は、冷却水配管の取り回し、電気的な通信インターフェース、特定のプロセスガス対応など、特定のユーザーまたはメイン装置向けにカスタマイズされた枝番仕様を示しています。ロードロック室の粗引きや高真空ポンプのバックアップ用途など、高い耐久性が要求される産業用途で幅広く活用される排気システムです。

【AIによる参考仕様】
・ポンプ作動方式：多段ルーツ型ドライ真空ポンプ
・冷却方式：水冷式
・最大排気速度：約 250 m3/h (50Hz) / 約 300 m3/h (60Hz) [4166 L/min / 5000 L/min]
・到達圧力：≤ 1.0 Pa
・電源仕様：三相 200Vクラス（50/60Hz）
・モーター定格出力：約 3.7 kW ～ 5.5 kW
・吸気口フランジ：JIS VG50 または NW50相当（※仕様により異なる場合があります）
・排気口フランジ：JIS VF40 または NW40相当（※仕様により異なる場合があります）
・環境要件：冷却水設備の接続が必要

※末尾「-019」は特定プロセスやメイン装置への組み込みに向けたカスタマイズ仕様を示す枝番です。制御コネクタのピンアサイン、特殊コーティングの有無、冷却配管の接続位置などが標準の基本モデルとは異なる可能性があるため、実際の導入・配管作業の際は実機の仕様確認が推奨されます。