中古機 ドライポンプ エドワーズ　Edwards製、型式IGX6/100L 200Vのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体、FPD、太陽電池などの製造工程において、クリーンな真空環境を提供するためのインバータ駆動式ドライ真空ポンプです。主にロードロックチャンバー、搬送系、メトロロジー、アッシングなど、副生成物の発生が極めて少ない軽負荷（Light Duty）プロセスに最適化されており、ポンプ内部への生成物堆積リスクを低減し、長期にわたる安定稼働を実現しています。

筐体内部に制御用のオンボードコントローラを内蔵したコンパクトな一体型設計を採用しており、生産現場におけるフットプリント（設置面積）の削減に寄与します。ポンプ内部は非接触式のローター構造となっているため、摩耗による発塵がなく、定期的な潤滑油の交換も不要なクリーン仕様です。

また、本シリーズの特徴として独自のグリーンモード（省エネモード）を備えており、チャンバー待機時の消費電力を効果的に引き下げることで、ランニングコストおよび環境負荷の低減を両立しています。イーサネット通信を通じたリアルタイムな状態監視にも対応しており、工場内の制御ネットワークへの統合や、稼働データに基づいた予知保全を容易に行うことが可能です。

【AIによる参考仕様】
・用途区分：軽負荷プロセス用（副生成物の少ないプロセス向け）
・電源電圧：三相 200V (50/60Hz)
・最大排気速度：100 m³/h（100Lクラス） / 600 m³/h（600Lクラス）
・到達圧力：0.1 Pa 以下
・消費電力（待機時）：約 0.53 kW（100L） / 約 0.70 kW（600L）
・消費電力（ピーク時）：約 1.6 kW（100L） / 約 2.3 kW（600L）
・冷却方式：水冷式
・所要冷却水流量：約 2.0 L/min
・N2パージ流量：約 12 SLM
・通信インターフェース：Ethernet、シリアル通信（RS232/RS485）対応
・制御方式：インバータ一体型オンボードコントローラ
・概略重量：約 130 kg（100L） / 約 145 kg（600L）
※上記は同一シリーズにおいて複数型式が併記される公式データシート（100L/600Lクラス）から抽出した参考値です。実際の性能はモジュール構成や運転条件により異なる場合があります。