中古機 ドライポンプ 樫山工業　Kashiyama製、型式MU600X-004のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造や液晶パネル製造などの過酷なプロセス環境向けに開発された、多段ルーツ式のドライ真空ポンプです。プロセスガスによる生成物の堆積や腐食を抑制するため、ポンプ内部の温度制御を最適化するヒーター制御や独自の構造設計が採用されています。特に、CVDやエッチングなどのパーティクルや反応性ガスが多く発生するプロセスにおいても、高い排気性能と耐久性を長期間維持できる点が特徴です。

最大排気速度は6,000 L/minに達し、中真空領域から大気圧まで安定した連続排気能力を提供します。ルーツローターを多段に配置した非接触構造により、オイルバックや発塵がなく、クリーンな真空環境を構築可能です。インバーター制御による省エネルギー運転にも対応しており、プロセス負荷の変動に応じた消費電力の最適化が行われます。また、シール部への窒素（N2）パージ機能により、腐食性ガスの軸受部への侵入を防ぎ、ポンプの長寿命化を実現しています。稼働中の振動や騒音レベルも低く抑えられており、クリーンルーム内や精密装置周辺での設置にも適した堅牢な設計となっています。

【AIによる参考仕様】
・最大排気速度: 6,000 L/min（360 m3/h）
・到達圧力: 0.4 Pa 以下
・ポンプ方式: 多段ルーツ型非接触ドライ真空ポンプ
・吸気口フランジ: JIS VG50 または ISO63
・排気口フランジ: NW40
・冷却方式: 水冷式
・必要冷却水流量: 3.0 L/min 以上
・窒素（N2）パージ要件: 対応（流量設定はプロセスに依存）
・駆動電源: 三相 AC200V系（50/60Hz）
・消費電力: 約 1.6 kW（到達時） / 最大約 4.0 kW
・外形寸法（W×D×H）: 約 310 × 710 × 645 mm（※突起物・付属品を除く）
・質量: 約 210 kg
※ 上記は基本仕様に基づくカタログ参考値です。末尾枝番（-004）に付随する特殊仕様や、前ユーザーの設定、追加オプションの有無により、フランジ規格、ユーティリティ要件、寸法等が一部異なる場合があります。導入時は実機および現状の仕様をご確認ください。