中古機 ドライポンプ 樫山工業　Kashiyama製、型式MU100XU-108のご紹介

【AIによる装置概要】
半導体製造やFPD（フラットパネルディスプレイ）製造におけるCVD、エッチングなど、反応副生成物が発生しやすい過酷なプロセス向けに設計された多段ルーツ型の水冷式ドライ真空ポンプです。

型式に含まれる「XU」は、ポンプ内部を高温に維持するための加熱機構（温調機能）を備えたプロセス仕様であることを示しています。これにより、排気ガスが内部で冷却されることで生じる副生成物の結露や固着（パウダーの堆積）を効果的に抑制し、ポンプのロングライフ化とメンテナンス周期の延長を実現しています。

また、インバータ駆動方式を採用しており、大気圧から到達圧力まで安定した排気性能を発揮すると同時に、消費電力の削減にも寄与します。冷却方式は水冷式を採用しているため密閉性が高く、クリーンルーム等の作業環境への排熱を最小限に抑える構造となっています。

末尾の「-108」は、電源電圧、各種センサー類、N2パージの配管仕様、または通信インターフェースなどが特定の製造装置向けにカスタマイズされたバリエーションモデルであることを示しています。半導体プロセスの排気系統において、高い信頼性と連続した安定稼働が求められる環境に適した装置です。

【AIによる参考仕様】
・ポンプ方式: 多段ルーツ型ドライ真空ポンプ
・最大排気速度: 1,000 L/min (60 m3/h)
・到達圧力: 0.5 Pa 以下
・モーター定格出力: 1.5 kW
・冷却方式: 水冷式
・冷却水流量: 約 3 L/min
・吸気口フランジ: NW50 (KF50)
・排気口フランジ: NW25 (KF25)
・駆動方式: インバータ駆動
・特殊仕様: XU仕様（副生成物堆積防止用の内部加熱・温調機能搭載）、N2パージ対応
・電源仕様: 三相 AC200Vクラス（※枝番により異なる場合があります）
・質量: 約 110 kg

※上記は基本型式の標準的なカタログスペックに基づく参考値です。末尾の枝番（-108）によるカスタマイズが反映されている可能性があるため、実際の導入・運用に際しては実機の銘板や各ポート・コネクタ仕様等の確認を推奨します。