中古 ドライポンプ
メーカー名
アルバック Ulvac
型式LR90
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
300,000円
【AIによる装置概要】
ロードロック室や搬送室の粗引き、および軽負荷プロセス（スパッタリング、アッシング等）のクリーンな真空排気に適した多段ルーツ型ドライ真空ポンプです。アルミニウム製部品を多用した設計により、同等の排気能力を持つ他方式のポンプと比較して軽量化・省スペース化が図られており、生産設備への組み込みやクリーンルーム内の限られたスペースでの設置に有利な構造となっています。
最大排気速度は90 m³/h（1500 L/min）に達し、大気圧付近から到達圧力まで連続して安定した排気運転が可能です。駆動部にはインバータ方式が採用されているため、設置地域の商用電源周波数（50Hz/60Hz）に依存せず、常に一定の回転数と排気性能を維持します。また、ポンプ本体およびモーター部は水冷式を採用しており、クリーンルームなどの周囲環境への熱放出を最小限に抑えることが可能です。インバータや制御回路があらかじめ本体に内蔵されているため、外部に複雑な制御系を構築することなく、電源や冷却水、真空配管を接続するだけで容易に稼働させることができます。
【AIによる参考仕様】
最大排気速度：90 m³/h (1500 L/min)
到達圧力：2.0 Pa 以下
冷却方式：水冷（必要冷却水量 約 2.0～3.0 L/min）
モータ定格出力：2.2 kW
電源電圧：三相 AC200～240V（50/60Hz）
吸気口フランジ：NW40
排気口フランジ：NW40
質量：約 120 kg
※上記は標準的な参考値であり、製造年式やオプション構成により実機の仕様が異なる場合があります。
ロードロック室や搬送室の粗引き、および軽負荷プロセス（スパッタリング、アッシング等）のクリーンな真空排気に適した多段ルーツ型ドライ真空ポンプです。アルミニウム製部品を多用した設計により、同等の排気能力を持つ他方式のポンプと比較して軽量化・省スペース化が図られており、生産設備への組み込みやクリーンルーム内の限られたスペースでの設置に有利な構造となっています。
最大排気速度は90 m³/h（1500 L/min）に達し、大気圧付近から到達圧力まで連続して安定した排気運転が可能です。駆動部にはインバータ方式が採用されているため、設置地域の商用電源周波数（50Hz/60Hz）に依存せず、常に一定の回転数と排気性能を維持します。また、ポンプ本体およびモーター部は水冷式を採用しており、クリーンルームなどの周囲環境への熱放出を最小限に抑えることが可能です。インバータや制御回路があらかじめ本体に内蔵されているため、外部に複雑な制御系を構築することなく、電源や冷却水、真空配管を接続するだけで容易に稼働させることができます。
【AIによる参考仕様】
最大排気速度：90 m³/h (1500 L/min)
到達圧力：2.0 Pa 以下
冷却方式：水冷（必要冷却水量 約 2.0～3.0 L/min）
モータ定格出力：2.2 kW
電源電圧：三相 AC200～240V（50/60Hz）
吸気口フランジ：NW40
排気口フランジ：NW40
質量：約 120 kg
※上記は標準的な参考値であり、製造年式やオプション構成により実機の仕様が異なる場合があります。