中古機 ドライポンプ 荏原製作所　Ebara製、型式AA20のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体やフラットパネルディスプレイ（FPD）の製造ライン、および一般産業における各種真空プロセスで広く利用されている多段ルーツ式のドライ真空ポンプです。ポンプ室内に潤滑油を使用しない非接触ロータ回転機構を採用しており、オイルの逆流による汚染リスクがないため、極めてクリーンな真空環境の構築が可能です。

同シリーズ内で中間的な排気能力を備えており、最大排気速度は毎分2,000リットル（120 m3/h）、到達圧力は2.0 Pa以下を実現しています。モータとポンプ本体を一体化したコンパクトな構造設計により、設置スペースが限られた生産設備への組み込みや、レイアウト制約の厳しい環境にも適応します。

また、到達圧力時における消費電力が約0.5 kWに抑えられており、工場全体のランニングコスト削減と省エネルギー化に寄与します。冷却機構には水冷式を採用しており、装置周辺への排熱を最小限に抑えるため、クリーンルームのような厳格な空調管理下での運用に適しています。主にロードロック室の排気、スパッタリング装置、真空蒸着装置など、重度な腐食性ガスを伴わない軽負荷から中負荷のクリーンプロセスにおいて、安定した稼働を提供します。

【AIによる参考仕様】
・ポンプ方式：多段ルーツ式ドライ真空ポンプ
・最大排気速度：2,000 L/min（120 m3/h）
・到達圧力：2.0 Pa 以下
・消費電力（到達圧力時）：約 0.5 kW
・冷却方式：水冷式
・必要冷却水流量：2.0 L/min
・吸気口フランジ規格：NW50（KF50）
・排気口フランジ規格：NW25（KF25）
・電源仕様：三相 200-220V（50/60Hz）
・概略寸法：幅 約280 mm × 奥行 約630 mm × 高さ 約330 mm
・概略質量：約 125 kg

（※上記は同シリーズ標準モデルのデータに基づく参考仕様です。実際の年式、マイナーチェンジ、搭載オプションによって一部の数値や配管規格が異なる場合があります。）