中古 ドライポンプ
メーカー名
荏原製作所 Ebara
型式A10S
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
300,000円
【AIによる装置概要】
接ガス部に油や液体を一切使用しない完全ドライ設計を採用した、多段ルーツ方式の真空排気装置です。チャンバー内への油の逆流（オイルバックマイグレーション）を防止し、高清浄な真空環境を要求されるプロセスに最適です。
本機は、最大1,000 L/min（60 m3/h）の排気速度を有し、大気圧から到達圧力帯（1.3 Pa以下）まで連続して安定した排気性能を発揮します。非接触で回転するルーツ型ローターを多段に配置した構造により、部品同士の摩擦による摩耗粉の発生がなく、長期にわたり安定した稼働を維持します。また、負荷変動に対する排気速度の低下が少なく、ロードロック室の急速排気（粗引き）から、スパッタリングやCVDといった各種成膜プロセス、エッチング装置、分析機器、真空乾燥ラインなどの中真空領域の維持まで幅広く対応します。
内部構造の最適化により低振動・低騒音を実現しているほか、冷却水や消費電力の低減が図られた設計となっており、ランニングコストの抑制にも寄与します。産業プロセスから研究開発用途まで、クリーンな真空を必要とする多様なシステムに組み込み可能な、汎用性と信頼性に優れたモデルです。
【AIによる参考仕様】
・排気方式：多段ルーツ方式
・最大排気速度：1,000 L/min (60 m3/h)
・到達圧力：≦ 1.3 Pa
・モータ定格出力：約 1.5 kW
・電源仕様：三相 200〜220V (50/60Hz)
・冷却方式：水冷式
・所要冷却水量：約 2〜3 L/min
・吸気口接続フランジ：NW40 (KF40)
・排気口接続フランジ：NW25 (KF25)
・概略質量：約 120 kg
※上記は標準的な仕様に基づく参考値です。製造時期、マイナーチェンジ、またはN2パージ機能などの付加オプションの有無により、実際の数値や接続規格が異なる場合があります。実機の銘板および現物の状態を優先してご確認ください。
接ガス部に油や液体を一切使用しない完全ドライ設計を採用した、多段ルーツ方式の真空排気装置です。チャンバー内への油の逆流（オイルバックマイグレーション）を防止し、高清浄な真空環境を要求されるプロセスに最適です。
本機は、最大1,000 L/min（60 m3/h）の排気速度を有し、大気圧から到達圧力帯（1.3 Pa以下）まで連続して安定した排気性能を発揮します。非接触で回転するルーツ型ローターを多段に配置した構造により、部品同士の摩擦による摩耗粉の発生がなく、長期にわたり安定した稼働を維持します。また、負荷変動に対する排気速度の低下が少なく、ロードロック室の急速排気（粗引き）から、スパッタリングやCVDといった各種成膜プロセス、エッチング装置、分析機器、真空乾燥ラインなどの中真空領域の維持まで幅広く対応します。
内部構造の最適化により低振動・低騒音を実現しているほか、冷却水や消費電力の低減が図られた設計となっており、ランニングコストの抑制にも寄与します。産業プロセスから研究開発用途まで、クリーンな真空を必要とする多様なシステムに組み込み可能な、汎用性と信頼性に優れたモデルです。
【AIによる参考仕様】
・排気方式：多段ルーツ方式
・最大排気速度：1,000 L/min (60 m3/h)
・到達圧力：≦ 1.3 Pa
・モータ定格出力：約 1.5 kW
・電源仕様：三相 200〜220V (50/60Hz)
・冷却方式：水冷式
・所要冷却水量：約 2〜3 L/min
・吸気口接続フランジ：NW40 (KF40)
・排気口接続フランジ：NW25 (KF25)
・概略質量：約 120 kg
※上記は標準的な仕様に基づく参考値です。製造時期、マイナーチェンジ、またはN2パージ機能などの付加オプションの有無により、実際の数値や接続規格が異なる場合があります。実機の銘板および現物の状態を優先してご確認ください。