中古 ターボ分子ポンプ（TMP）
メーカー名
ファイファー Pfeiffer
型式TMH261
年式表記：2007年
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
300,000円
【AIによる装置概要】
高速回転するタービン翼とドラッグ段を組み合わせ、気体分子を排気側へ送って高真空を作るターボ分子ドラッグポンプです。ドラッグ段を持つため許容背圧が窒素で10 mbarと高く、ダイアフラムポンプなど小型の粗引きポンプとも組み合わせられます。窒素の排気速度は210 L/sec、吸気口はDN100 ISO-Kで、研究用チャンバー・表面分析装置・成膜装置の主排気に用いられます。
駆動回路はポンプに内蔵されておらず、外部の駆動電子ユニット(TC 600系)と組み合わせて48 V DCで運転するタイプです。定格回転数は60000 rpm、立上り時間は約1.6分です。冷却は水冷または空冷ユニットによります。現品は備考のとおりDC電源とケーブルが付属しないため、運転にはこれらと粗引きポンプの準備が必要です。
【AIによる参考仕様】
・排気速度(N2)：210 L/sec
・排気速度(He / H2 / Ar)：220 / 175 / 200 L/sec
・到達圧力(油回転ポンプ使用時)：<1×10⁻⁷ mbar
・吸気口フランジ：DN100 ISO-K
・排気口フランジ：DN25 ISO-KF / G1/4
・方式：ターボ分子ドラッグポンプ(TC 600 駆動電子ユニット用)
・圧縮比(N2 / He / H2)：>1×10⁹ / 3×10⁵ / 1.4×10⁴
・許容背圧(N2)：10 mbar
・定格回転数：60000(スタンバイ40000) rpm
・立上り時間：1.6 min
・冷却方式：水冷または空冷(冷却水100 L/h、25℃以下)
・電源：48 V DC、最大消費電力200W(連続170W)
・質量：6.1(TMH 261 P) kg
※現品は別途DC電源・ケーブルの準備が必要。駆動電子ユニット(TC 600系)の有無は要確認
※取説は TMH 261 P / TMU 261 P(パージガス接続機構付き)の版。無印 TMH 261 も排気速度・フランジは同じ
※TMU 261(吸気口 DN100 CF-F)は到達圧力 <5×10⁻¹⁰ mbar、質量8.1kg
高速回転するタービン翼とドラッグ段を組み合わせ、気体分子を排気側へ送って高真空を作るターボ分子ドラッグポンプです。ドラッグ段を持つため許容背圧が窒素で10 mbarと高く、ダイアフラムポンプなど小型の粗引きポンプとも組み合わせられます。窒素の排気速度は210 L/sec、吸気口はDN100 ISO-Kで、研究用チャンバー・表面分析装置・成膜装置の主排気に用いられます。
駆動回路はポンプに内蔵されておらず、外部の駆動電子ユニット(TC 600系)と組み合わせて48 V DCで運転するタイプです。定格回転数は60000 rpm、立上り時間は約1.6分です。冷却は水冷または空冷ユニットによります。現品は備考のとおりDC電源とケーブルが付属しないため、運転にはこれらと粗引きポンプの準備が必要です。
【AIによる参考仕様】
・排気速度(N2)：210 L/sec
・排気速度(He / H2 / Ar)：220 / 175 / 200 L/sec
・到達圧力(油回転ポンプ使用時)：<1×10⁻⁷ mbar
・吸気口フランジ：DN100 ISO-K
・排気口フランジ：DN25 ISO-KF / G1/4
・方式：ターボ分子ドラッグポンプ(TC 600 駆動電子ユニット用)
・圧縮比(N2 / He / H2)：>1×10⁹ / 3×10⁵ / 1.4×10⁴
・許容背圧(N2)：10 mbar
・定格回転数：60000(スタンバイ40000) rpm
・立上り時間：1.6 min
・冷却方式：水冷または空冷(冷却水100 L/h、25℃以下)
・電源：48 V DC、最大消費電力200W(連続170W)
・質量：6.1(TMH 261 P) kg
※現品は別途DC電源・ケーブルの準備が必要。駆動電子ユニット(TC 600系)の有無は要確認
※取説は TMH 261 P / TMU 261 P(パージガス接続機構付き)の版。無印 TMH 261 も排気速度・フランジは同じ
※TMU 261(吸気口 DN100 CF-F)は到達圧力 <5×10⁻¹⁰ mbar、質量8.1kg