中古機 ターボ分子ポンプ（TMP） バリアン　Varian製、型式V70LPのご紹介

【AIによる装置概要】
真空チャンバーを高真空から超高真空域まで排気するための小型ターボ分子ポンプです。高周波モーターで回転するタービンに翼列10段とマクロトール段4段を組み合わせた構成で、定格回転数は75,000 rpm、起動時間は60秒未満とされています。窒素の排気速度は吸気フランジによって異なり、CF 4.5インチまたはISO63では68 L/sec、CF 2.75インチまたはKF40では45 L/secです。窒素の圧縮比は5×10^8で、ベーク後の到達圧力はメカニカル補助ポンプ使用時で2×10^-10 mbarとされています。
補助ポンプ側の接続はKF16で、推奨補助ポンプはロータリーポンプDS102またはダイアフラムポンプSH100です。モーターは三相54 V・1250 Hzで駆動されるため、単体では動作せず専用のTurbo-Vコントローラーが必要です。冷却は自然空冷が標準で、高負荷時用に強制空冷・水冷キットが用意されています。軸受は永久潤滑で、取付姿勢は任意です。
【AIによる参考仕様】
・排気速度 N2(CF 4.5インチ/ISO63)：68 L/sec
・排気速度 N2(CF 2.75インチ/KF40)：45 L/sec
・排気速度 He(CF 4.5インチ/ISO63)：60 L/sec
・排気速度 H2(CF 4.5インチ/ISO63)：45 L/sec
・圧縮比 N2：5×10^8
・到達圧力(メカニカル補助ポンプ使用時)：2×10^-10 mbar
・到達圧力(ダイアフラム補助ポンプ使用時)：2×10^-9 mbar
・吸気フランジ：CF 4.5インチ / ISO63 / CF 2.75インチ / KF40(型番により異なる)
・排気フランジ：KF16
・回転数：75000 rpm
・起動時間：60未満 秒
・モーター入力：三相54 V / 1250 Hz(専用コントローラーから供給)
・冷却：自然空冷(強制空冷・水冷はオプション)
・ベーク温度(吸気フランジ上限)：CF:120 / ISO:80 ℃
・質量：ISO:1.7 / CF:2.5 kg
※吸気フランジの違いで4型番(969-9365 ISO63 / 969-9366 CF4.5インチ / 969-9367 KF40 / 969-9368 CF2.75インチ)があり、排気速度が異なる。現品のフランジは要確認
※ポンプ単体では回転しない。専用のTurbo-Vコントローラー(969-9405系等)が必要