中古機 第3コンデンサーレンズ その他製、型式BN9-5205-000のご紹介

【AIによる装置概要】
キヤノンの等倍反射投影型露光装置(ミラープロジェクションアライナー)MPA-600シリーズの照明光学系に組み込まれる、光を集めるためのレンズ(コンデンサーレンズ)です。この方式の露光装置は、超高圧水銀ランプの光を照明光学系で整えてマスクに当て、台形ミラー・凹面ミラー・凸面ミラーからなる全反射投影光学系でマスクの像を等倍のままウエハへ転写します。コンデンサーレンズは照明側で光束を集光・整形する役割を持ち、本品はその第3段にあたる部品として登録されています。登録上の適合装置はMPA600FAbです。
照明系のレンズは長時間の紫外光照射により透過率の低下やコーティングの劣化が起こりうる部位で、露光量の均一性や照度に影響するため、劣化品の入れ替え用途で使われます。単品の光学仕様(焦点距離・径など)は公開情報で確認できていません。
【AIによる参考仕様】
・部品番号：BN9-5205-000
・種別：第3コンデンサーレンズ(照明光学系)
・適合装置(登録情報)：MPA600FAb
・投影倍率(装置側)：1:1
・露光波長(装置側・二次情報)：365(i線), 405(h線), 436(g線) nm
・光源(装置側・二次情報)：2kW 超高圧水銀ランプ
※部品単体の光学仕様(焦点距離・外径・コーティング)は公開情報が無く未確認
※適合装置は登録情報(MPA600FAb用)による。他のMPA-600系への互換は要確認