中古 その他 輪帯球面ミラー Y60-4040-000

アライナー部品(ミラー・レンズ・チャック)は、マスクのパターンをウエハーに焼き付ける露光装置(アライナー)の中で使われる光学部品と、マスクやウエハーを保持する部品である。装置を丸ごと入れ替えずに、傷んだ部品や欠けた部品を補って既設の装置を使い続けるために求められることが多い。とくに生産が終わった機種では、メーカーからの新しい部品の供給が細っているため、同じ機種の部品が保守の手段になる。
光学部品には、光源の光を集めてマスク全体を均一に照らす照明系の部品と、マスクの像をウエハーに写す投影系の部品がある。照明系では、ランプの光を集める集光ミラーやコンデンサーレンズ、光の当たり方をそろえる部品が使われる。反射鏡で像を写す方式の投影露光装置では、凹面や凸面の球面ミラー、輪帯の形をした球面ミラー、光路を折り曲げる平面ミラーなどを組み合わせて像を結ぶ。ミラーの表面には、使う波長の紫外光をよく反射し、ほかの波長を逃がすための誘電体の多層膜が付けられていることが多い。どの部品も、装置の中の決まった位置に決まった向きで収まるように作られており、部品番号で装置と位置が決まる。
チャックは、露光の間にマスクやウエハーを動かないように保持する部品である。マスクチャックはマスクの縁を真空で吸着して所定の位置に保ち、ウエハーチャックは裏面を真空で吸着してウエハーを平らに保つ。ウエハーチャックの平面度や表面の傷はウエハーの平らさに直接響き、焦点のずれやパターンのむらの原因になる。ウエハーの口径ごとに専用のチャックがあり、搬送のためのディスクやホルダーも口径に合わせて用意される。
光学部品は、表面の傷や汚れ、膜の劣化、くもりがあると、照度の低下や照度むら、像のにじみとして露光の結果に表れる。そのため、部品の取り扱いでは表面に触れず、ほこりと湿気を避けて保管することが基本になる。交換した後は、照度と照度むら、焦点、マスクとウエハーの位置合わせを確かめ、必要に応じて光軸を調整する。部品の交換で装置の性能が戻るかどうかは、交換する部品のほかに、装置の側の状態にも左右される。
中古の部品を選ぶときは、部品番号で装置との対応を確かめたうえで、光の当たる面の状態と、チャックの吸着面の状態を見る。取り外した装置がどのような使われ方をしていたか、保管の期間と環境が分かれば、状態を見積もる手がかりになる。同じ装置の部品をまとめて押さえておくと、次に傷んだときの予備にもなる。