中古 その他 G2, G5ミラー（誘電帯膜） Y60-0349-000
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- メーカー
- その他
- 型式
- Y60-0349-000
- 機種
- アライナー部品（ミラー・レンズ・チャック）
- 仕様
- MPA500FAb用
- 管理番号
- Z26081801
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
Y60-0349-000 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 適合装置 | MPA-500FA |
|---|---|
| 部品番号 | Y60-0349-000 |
| 種別 | 反射光学素子(ミラー) |
| 投影倍率(装置側) | 1:1 |
| 解像度(装置側) | 1.5 μm |
| 対応ウエハ径(装置側) | 3〜5 インチ |
| 光学系構成(装置側) | 台形ミラー・凹面ミラー・凸面ミラーの3種類 |
※G2・G5という呼称はキヤノンの装置内部の光学素子呼称であり、どの素子に対応するかは公開資料では確認できていない。現品と装置側の部品リストでの照合が必要。
※1つの部品番号でG2とG5の両方を指すのか、2枚組での在庫なのかは登録情報からは判断できない。
※反射膜の種類は登録名称の「誘電帯膜」からの推定で、実際の膜構成・反射帯域・反射率は未確認。
※MPA-500FAは1979年に商品化された装置で、同一型式でも製造時期により光学部品の仕様が異なる可能性がある。
※寸法・曲率・面精度などミラー単体の数値仕様は公開資料が無く未取得。
出典: optronics-media.com
その他 Y60-0349-000 の装置概要 AIによる記述です
キヤノンの等倍反射投影型露光装置(ミラープロジェクションアライナー)MPA-500FAの光学系に組み込まれる反射光学素子です。この方式の露光装置は投影レンズを使わず、台形ミラーと凹面ミラー、凸面ミラーを組み合わせた全反射光学系でマスクの像を等倍のままウエハへ転写します。円弧状に切り出した照明領域をマスクとウエハが同期して走査することで基板全面を露光する仕組みで、反射光学系のため色収差が発生せず、超高圧水銀ランプのg線からi線までの広い波長帯をそのまま露光に使えるのが特徴です。本品は装置内でG2およびG5と呼ばれる位置のミラーにあたり、反射面には誘電体膜が施されています。露光に用いる波長帯だけを選択的に反射させるための膜と考えられます。ミラーの面精度と反射膜の状態は解像度および露光量の均一性に直結する部位です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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