中古 その他 G2ミラー BN9-8079-000
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- メーカー
- その他
- 型式
- BN9-8079-000
- 機種
- アライナー部品（ミラー・レンズ・チャック）
- 仕様
- MPA600FAb用
- 管理番号
- Z26081804
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
BN9-8079-000 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 適合装置 | MPA-600FA |
|---|---|
| 部品番号 | BN9-8079-000 |
| 種別 | 反射光学素子(ミラー) |
| 投影倍率(装置側) | 1:1 |
| 露光波長(装置側・二次情報) | 365(i線), 405(h線), 436(g線) nm |
| 光源(装置側・二次情報) | 2kW 超高圧水銀ランプ |
| 対応ウエハ径(装置側・二次情報) | 4, 5, 6 インチ |
| 光学系構成(装置側) | 台形ミラー・凹面ミラー・凸面ミラーの3種類 |
※G2という呼称はキヤノンの装置内部の光学素子呼称であり、どの素子(台形/凹面/凸面のいずれか)に対応するかは公開資料では確認できていない。現品と装置側の部品リストでの照合が必要。
※同じ「G2ミラー」でもMPA-500FA用(Y60-0349-000)とは別部品番号であり互換性は無いものとして扱うこと。
※装置側の解像度はMPA-600FAで2.5μm(6インチ全面)とする資料と1.5μm(ポジレジスト使用時)とする資料があり、条件により値が異なるため本文には記載していない。
※反射面のコーティング仕様は登録情報に記載が無く未確認。
※寸法・曲率・面精度・反射率などミラー単体の数値仕様は公開資料が無く未取得。
出典: semistarcorp.com、optronics-media.com
その他 BN9-8079-000 の装置概要 AIによる記述です
キヤノンの等倍反射投影型露光装置(ミラープロジェクションアライナー)MPA-600FAの光学系に組み込まれる反射光学素子です。この方式の露光装置は投影レンズを用いず、台形ミラーと凹面ミラー、凸面ミラーを組み合わせた全反射光学系でマスクの像を等倍のままウエハへ転写します。円弧状に切り出した照明領域をマスクとウエハが同期走査することで基板全面を露光する構成で、反射光学系のため色収差が発生せず、超高圧水銀ランプのg線・h線・i線を含む広い波長帯をそのまま露光に利用できます。MPA-600FAは6インチウエハまで対応する世代にあたります。本品は装置内でG2と呼ばれる位置のミラーで、全反射光学系では各ミラーの面精度と反射率がそのまま解像度・露光量の均一性に反映されるため、劣化した素子の入れ替え用途で需要が生じる部位です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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