中古ゲートバルブの在庫・価格

ゲートバルブは、真空槽どうしや真空槽とポンプの間を仕切る仕切弁で、開いたときに配管の口径とほぼ同じ開口がまっすぐ通るのが最大の特徴である。全開時のコンダクタンスが大きいため、ターボ分子ポンプやクライオポンプの吸気口に付ける主バルブや、ロードロック室と処理室の間の搬送口を仕切るバルブとして使われる。
動作は、薄い弁体を弁箱の中で横にスライドさせて開口の前まで運び、最後に弁座へ押し付けてシールする。押し付け方の違いで、楔(くさび)で弁体を押し広げる型、リンクやローラーで弁体を弁座に垂直に押し出す型、弁体をL字に動かす型などがある。弁座をこすらず垂直に当てる機構ほど発塵が少なく、半導体用途ではこれが重視される。弁体を振り子のように回す振り子型は大口径向きで、弁体を途中で止めて開度を変え、圧力制御に兼用するものもある。
シールは、弁体のOリング、弁箱のふた(ボンネット)のシール、駆動軸の導入部の3か所に分かれる。Oリングは耐熱性と汎用性からFKMが一般的で、腐食性ガスやプラズマにさらされる場所ではパーフルオロエラストマーが使われる。駆動軸の導入はOリングかベローズで、超高真空用はベローズが基本である。漏れ量は弁箱・弁座とも1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s程度以下が典型である。
使える圧力は大気圧から高真空・超高真空までだが、弁体の両側の差圧には2種類の制限がある。閉じた状態で耐えられる差圧(多くは0.1 MPa程度で、向きが指定される機種もある)と、開くときに許される差圧(多くは数百Pa〜数kPa)である。後者を超えて開けると押付機構を傷めたり、急な気流でポンプを損傷したりする。ターボ分子ポンプの上で使う場合は、両側を粗引きで均圧してから開けるのが基本である。
駆動は手動のハンドル式、空圧式(圧縮空気0.4〜0.7 MPa程度)、電動式がある。空圧式では、空気圧が落ちたときに閉じるか開いたままか、停電時にどうなるかを装置の安全設計と合わせて確認しておく。開閉位置はリミットスイッチで装置側に返すのが普通である。
弁箱はステンレス鋼かアルミ合金で、許容温度は機種によりおおむね120〜250℃、閉状態のほうが低く制限されることが多い。寿命は開閉回数で示され、清浄で加熱しない条件で数万〜数十万回が最初の保守の目安となる。交換部品は弁体のOリング、ボンネットのシール、駆動部のシールやベローズである。
中古品では、口径とフランジ規格(ISO・CF・JIS・ICFなど)、駆動方式と位置スイッチの配線、弁座のシール面の傷や反応生成物の付着、漏れ試験の値を確かめたい。堆積物の多いプロセスで使われた物は、分解洗浄とシール交換を前提に見積もるのが現実的である。