中古 VAT ゲートバルブ 0340X-LA24-BJK1/0040

真空室どうしのあいだで基板を出し入れする開口を開け閉めする、矩形(角型)のゲートバルブ。VATのMONOVATシリーズ03のインサート型で、装置の壁の中にバルブを差し込んで組み込む形のため、外に張り出す部分を小さくできる。半導体や液晶の製造装置で、搬送室とプロセス室を仕切るのに使われる。
駆動は3本のシリンダを使う複動式の空圧アクチュエータで、制御電圧は24V。推奨する作動空気圧は2〜6bar(30〜90psi)。ゲートの差圧は両方向に1.2bar、開放時は30mbar以下。シールはFKM(バイトン)、メンテナンスまでの動作回数は500万回以上。
型番の末尾のXは標準表に無い特注の寸法を示し、開口の寸法は実測が要る。034系とサフィックスLAはデータシートの発注表に無く、材質も確かめられていない。