中古 VAT 圧力コントローラー PM-6
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- メーカー
- VAT
- 型式
- PM-6
- 機種
- 圧力コントローラー
- 管理番号
- C021325
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
PM-6 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 対応バルブ | VAT シリーズ 65(およびモータードライバー付きシリーズ 61)コントロールバルブ |
|---|---|
| 電源電圧 | 24(±10%) VDC |
| 消費電力(バルブ 1 台、NiCd PFO / UltraCap PFO) | 46 / 56(+センサー供給分 最大 38) W |
| 消費電力(バルブ 2 台、NiCd PFO / UltraCap PFO) | 81 / 91(+センサー供給分 最大 38) W |
| センサー接続数 | 1(標準)/ 2(オプション) 系統 |
| センサー入力電圧レンジ(設定で選択) | 0〜1 / 0〜2 / 0〜5 / 0〜10 V |
| センサー信号の AD 変換 | 12 bit |
| センサー用電源 | +15 / -15(±5%、2 センサー合計 最大 1000 mA) VDC |
| バルブ接続数 | 1 または 2 台 |
| 通信インターフェース | RS232C(既定 9600 bps、データ長 7 bit) |
| 接点入出力 | バルブ閉指令入力、バルブ閉位置出力(フォトカプラ、最大 30 V / 0.1 A) |
| 圧力制御範囲(LEARN 時のガス流量に対して) | 5〜5000 % |
| 使用温度(PFO なし) | 0〜50 ℃ |
※PM-6 は製品識別番号 650PM-24..-.... で仕様が分かれる。上の値は社内保管の取扱説明書が対象とする 650PM-24CG-ADE2 / 24JG-ADE2 / 24CH-ADC2 / 24JH-ADC2 / 24FH-ADD2 / 24KH-ADD2(UltraCap PFO / RS232 / 1〜2 センサー / 1〜2 バルブ)のもので、ほかの番号では電源・インターフェース・PFO の有無が異なる場合がある。現品の番号は本体上面の表示で確認が必要。
※ローカル操作と表示には別売のサービスボックスが必要(コントローラーの標準付属品ではない)。
※PFO(電源断時のバルブ閉)付きの場合、バッテリー(NiCd または UltraCap)と SRAM バッテリー(寿命目安 5 年)は消耗品で、中古品では交換時期を過ぎている可能性がある。
※バルブ本体・接続ケーブル・センサーは含まれない(別途必要)。
出典: メーカー資料
VAT PM-6 の装置概要 AIによる記述です
VAT のシリーズ 65 振り子式(ペンデュラム)コントロールバルブと組み合わせ、プロセスチャンバーの圧力を自動制御するアダプティブ圧力コントローラーである。キャパシタンスマノメーターなどの圧力センサーのアナログ出力を取り込み、設定圧力になるようバルブ開度を連続的に調整する。立ち上げ時に推奨流量のガスを流して LEARN(自己学習)を実行するとチャンバーの制御特性を取得し、以後は学習時のガス流量の 5〜5000% の範囲で圧力制御が行える。
社内保管の取扱説明書(650PM-24CG/JG/CH/JH/FH/KH 系)では、センサーは 1 系統標準・2 系統目オプション、バルブは 1 台または 2 台を接続でき、ホストとは RS232C と接点入出力(バルブ閉指令入力・閉位置出力)で接続する。圧力モードと開度(ポジション)モードを持ち、別売のサービスボックスをつなぐと前面からのローカル操作ができる。停電時にバルブを閉じる電源断対策(PFO、NiCd または UltraCap)を備えた仕様もある。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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