中古 MKS 圧力コントローラー 600series 651CD2S1N
本体価格(税別、送料別)100,000円
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- メーカー
- MKS
- 型式
- 600series 651CD2S1N
- 機種
- 圧力コントローラー
- 管理番号
- Z26032610
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
600series 651CD2S1N の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | スロットルバルブ用 セルフチューニング圧力コントローラ(MKS Type 651C) |
|---|---|
| 対応バルブ | MKS 653 / 253 スロットルバルブ(ステッピングモータ駆動) |
| トランスデューサ電源 | ±15VDC ±5 @ 0.5A(90〜99Vまたは180〜198VAC入力時は0.4Aにディレート) |
| アナログ出力 | バルブ開度 0〜5 または 0〜10VDC(0〜100%)、圧力 0〜10VDC(0〜100%FS) |
| セットポイント | 5点(プログラム可能)、プロセスリミットリレー2点 |
| 通信 | RS-232(型番のDから) |
| 機能 | セルフチューニング、ソフトスタート(調整可)、ローカル/リモート ゼロ調整 |
※値はMKSの651C製品ページと販売店掲載の要約から。寸法・質量・入力電圧は未確認。
出典: mks.com
MKS 600series 651CD2S1N の装置概要 AIによる記述です
スロットルバルブの開き具合を動かして、真空室の圧力を設定値に保つ圧力コントローラ。圧力計の信号を読み、ステッピングモータで駆動するMKSの653や253のスロットルバルブを開閉して、排気の速さを変えることで圧力を合わせる。成膜やエッチングの装置でプロセスの圧力を一定に保つ用途に使われる。
制御の条件を自動で合わせるセルフチューニング、調整できるソフトスタート、ローカル/リモートのゼロ調整の機能を持つ。セットポイントはプログラムできる5点で、プロセスリミットのリレーが2点ある。アナログ出力はバルブ開度が0〜5または0〜10VDC(0〜100%)、圧力が0〜10VDC(0〜100%FS)。圧力計へ±15VDC・0.5Aの電源を供給する。通信はRS-232(型番のDによる)。
値はMKSの651Cの製品ページと販売店の要約による。寸法・質量・入力電圧は確かめられていない。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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