中古 MKS 圧力コントローラー 640A-28779
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- メーカー
- MKS
- 型式
- 640A-28779
- 機種
- 圧力コントローラー
- 仕様
- Range 1000Torr
- 管理番号
- Z20020754
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- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
640A-28779 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 形式 | Type 640A（絶対圧コントローラ） |
|---|---|
| フルスケール | 1000 Torr |
| 確度 | 読み値の±0.5% |
| 制御範囲 | F.S.の2〜100% |
| 制御再現性 | ±0.1 %F.S. |
| 温度係数(ゼロ) | ±0.02 %F.S./℃ |
| 温度係数(スパン) | ±0.04 %読み値/℃ |
| 入出力信号 | 圧力出力・設定入力とも DC0〜5V または 0〜10V（選択式） |
| トリップポイント | オープンコレクタ2点、DC30V／250mA、ヒステリシス3%F.S. |
| 電源 | ±15VDC±5%、200mA以下 |
| 使用温度範囲 | 0〜50 ℃ |
| 外形寸法 | 38.1×76.2×141（継手を除く） mm |
| 継手 | 4-VCR／8-VCR／1/4インチSwagelok 互換 |
| 耐圧(バースト) | 1500psig以上 |
| 漏れ(内部→外部) | 1×10⁻⁹ scc/sec He未満 |
※上記は同シリーズの標準的なデータに基づく参考仕様です。型式末尾の特注番号（-28779）により、配管継手の形状やサイズ（VCRやSwagelokなど）、バルブの初期状態（ノーマルクローズまたはノーマルオープン）、内部シール材質、入出力電圧の範囲などの詳細な仕様が特定されているため、実機稼働の際はコネクタのピンアサイン等の現物確認を推奨します。
出典: ccrprocessproducts.com
MKS 640A-28779 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、静電容量マノメーターとプロポーショナル制御バルブをコンパクトに一体化した絶対圧コントローラーです。主に真空プロセスやガス供給ラインにおいて、チャンバー内または配管内の圧力を高精度に自動制御するために使用されます。フルスケールレンジは1000 Torr（約133.3 kPa）に設定されており、大気圧近傍から中真空領域までの圧力計測および制御に適合します。
内部に搭載された静電容量式センサーは、ガスの種類や組成の変化に影響されない正確な絶対圧測定を可能にします。装置は、このセンサーで測定された圧力値と外部から入力される設定値を比較し、内蔵バルブの開度を高速かつ連続的に自動調整することで、目的の圧力を安定して維持します。半導体製造プロセスにおけるエッチングやCVD装置、各種ガス混合システム、研究開発用の真空チャンバーなど、精密な圧力環境の制御が求められる用途に適しています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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