中古 MKS 圧力コントローラー 640A-28779
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- メーカー
- MKS
- 型式
- 640A-28779
- 機種
- 圧力コントローラー
- 仕様
- Range 1000Torr
- 管理番号
- Z20020753
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640A-28779 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 形式 | Type 640A（絶対圧コントローラ） |
|---|---|
| フルスケール | 1000 Torr |
| 確度 | 読み値の±0.5% |
| 制御範囲 | F.S.の2〜100% |
| 制御再現性 | ±0.1 %F.S. |
| 温度係数(ゼロ) | ±0.02 %F.S./℃ |
| 温度係数(スパン) | ±0.04 %読み値/℃ |
| 入出力信号 | 圧力出力・設定入力とも DC0〜5V または 0〜10V（選択式） |
| トリップポイント | オープンコレクタ2点、DC30V／250mA、ヒステリシス3%F.S. |
| 電源 | ±15VDC±5%、200mA以下 |
| 使用温度範囲 | 0〜50 ℃ |
| 外形寸法 | 38.1×76.2×141（継手を除く） mm |
| 継手 | 4-VCR／8-VCR／1/4インチSwagelok 互換 |
| 耐圧(バースト) | 1500psig以上 |
| 漏れ(内部→外部) | 1×10⁻⁹ scc/sec He未満 |
※本機に付与されているハイフン以降の固有番号は、特定の装置メーカー向け（OEM等）のカスタマイズ仕様を示す場合があります。そのため、ガス接続口の継手形状（VCR等）、バルブの初期状態（ノーマリークローズまたはオープン）、および必要電源仕様（±15VDCまたは単一24VDC）などの細部は、標準モデルと異なる可能性があります。実際のシステムへ組み込む際は、実機の銘板、継手形状、コネクタのピンアサイン等のご確認を推奨します。
出典: ccrprocessproducts.com
MKS 640A-28779 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、静電容量型ダイヤフラム真空計（キャパシタンスマノメーター）とプロポーショナル制御バルブをコンパクトに一体化した、アブソリュート（絶対圧）圧力コントローラーです。主に半導体製造装置や各種真空プロセスのガス導入ライン等に設置され、単体でクローズドループによる高精度な自動圧力制御を実行します。
本機のフルスケールレンジは1000 Torr（約133.3 kPa）に設定されており、大気圧付近までの圧力領域をカバーします。内蔵されたセンサーは、ガスの種類や組成に依存せず、物理的なダイヤフラムの変位から絶対圧を直接測定します。そのため、反応性ガスや混合ガスを用いたプロセス環境下においても熱伝導式センサーのような補正が不要であり、正確な計測と制御が可能です。
制御メカニズムとして、外部からの設定圧力信号と内蔵センサーによる実際の測定圧力を内部の電子回路で高速に比較し、その差分に基づいてプロポーショナルバルブの開度を連続的に微調整します。これにより、フルスケールの2%から100%の制御範囲において、上流側の圧力変動やガス流量の変化に対して迅速に応答し、安定したプロセス圧力を維持します。
単一のパッケージに高精度センサーと制御バルブ、処理回路が組み込まれているため、個別機器を組み合わせる場合と比較して配線の簡素化や設置スペースの削減、システム配管におけるデッドボリュームの低減に寄与する構造となっています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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