中古 MKS バラトロン真空計 690A01TRC
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本体価格(税別、送料別)50,000円
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- メーカー
- MKS
- 型式
- 690A01TRC
- 機種
- バラトロン
- 管理番号
- D072092
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
690A01TRC の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 測定方式 | 絶対圧(静電容量式隔膜真空計) |
|---|---|
| フルスケール圧力 | 1 Torr |
| 確度 | ±0.12%(読み値に対して。型番末尾C=標準・一方向校正) |
| 分解能 | 1×10⁻⁶(フルスケールに対して) |
| 有効分解能 | 5桁(5デケード) |
| センサ温度 | 45 ℃(恒温制御) |
| センサ形式 | 片面・2電極 |
| 継手 | Swagelok 4-VCR(メス) |
| 接ガス部材質 | インコネル、304ステンレス |
| 使用周囲温度 | 15〜40 ℃ |
| 耐過圧 | フルスケールの125%または45psiaの大きい方 |
| スパンの温度係数 | 0.002%R/℃未満(20ppm) |
| 応答時定数 | 40ms(シグナルコンディショナ標準位置) |
| 測定側内容積 | 2.5 cc |
※型式一般の値。Type 690A/698A 共通の取扱説明書(114103-P1 Rev F)の仕様章と型番表から読み取った。
※単体では使えず、Type 670 などのシグナルコンディショナ／表示器が必要。
※この製品ファミリはメーカーで終息しており、後継は AA06A シリーズ。
出典: idealvac.com
MKS 690A01TRC の装置概要 AIによる記述です
薄い金属の隔膜が圧力でたわむときの静電容量の変化から、気体の種類によらずに絶対圧を測る静電容量式隔膜真空計(キャパシタンスマノメータ)のセンサヘッドです。フルスケールは1 Torrで、確度は読み値の±0.12%と高く、半導体プロセスの圧力の管理や、ほかの真空計の校正の基準などに使われます。
センサは45 ℃に恒温制御され、周囲の温度の影響を抑えています。分解能はフルスケールの1×10⁻⁶、有効分解能は5桁で、応答時定数は40msです。接ガス部はインコネルと304ステンレス、継手はSwagelok 4-VCR(メス)、測定側の内容積は2.5 cc、使用周囲温度は15〜40 ℃です。
単体では使えず、Type 670などのシグナルコンディショナや表示器と組み合わせます。この製品ファミリはメーカーで終息しており、後継はAA06Aシリーズです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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