中古 Brooks キャパシタンスマノメータ CMX45

圧力で薄い隔膜がたわむと静電容量が変わることを使って圧力を測る、容量式の絶対圧の真空計(キャパシタンスマノメータ)。ガスの種類によらずに圧力を測れるため、成膜やエッチングの装置でプロセスの圧力を監視・制御する用途に使われる。センサを一定の温度に保つ温調式で、周囲の温度変化の影響を抑える。センサはMark-IVで、汚れやドリフトを抑える構造になっている。
現品の銘板では、部品番号はCMX1P0112V、フルスケールは133.3Pa(1Torr)、センサ温度は45℃。確度は1Torr未満のレンジで読み値の0.25%(BrooksのXacTorrのデータシートによる)。
出力信号・電源・継手は部品番号の各桁で決まる個体の仕様で、確かめられていない。