中古 MKS バラトロン Type626
本体価格(税別、送料別)80,000円
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- メーカー
- MKS
- 型式
- Type626
- 機種
- バラトロン
- 管理番号
- Z26032612
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| 現品銘板のコネクタピン配列 | PIN2 信号出力 / PIN5 電源コモン / PIN6 −15VDC / PIN7 +15VDC / PIN12 信号コモン / PIN15 シャーシ |
|---|
Type626 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | 絶対圧 容量マノメータ(MKS Baratron Type 626、非温調) |
|---|---|
| 圧力レンジ(フルスケール) | 1 / 2 / 10 / 100 / 1000 Torr |
| 有効測定レンジ | 1×10⁻⁴ F.S. |
| 精度(非直線性・ヒステリシス・非再現性を含む) | 0.25(オプション0.15) % of Reading |
| 温度係数(ゼロ) | 0.005 %F.S./℃ |
| 温度係数(スパン) | 0.04 % Reading/℃ |
| 運転温度範囲 | 0〜50 ℃ |
| 接ガス部材質 | インコネル |
| 最大過圧力 | 45psia(310) kPa |
| 入力電源 | ±15VDC±5%、35mA |
| 出力 | 0〜+10VDC(負荷10kΩ以上) |
| 応答時定数 | 20 msec 未満 |
| 標準継手 | 1/2インチ(12.7mm)チューブ |
| 質量(継手を除く) | 約0.7 kg |
※フルスケール(レンジ)は現品銘板の写真範囲に無く未確認。
※1Torr・2Torrセンサーではゼロ温度係数が大きくなる(0.015 / 0.010 %F.S./℃)。0.15%精度オプションは10・100・1000Torrのみ。
※継手はオプションでNW16KF、mini-CF、VCR 8/VCO 8がある。
出典: 現品の銘板、メーカー資料
MKS Type626 の装置概要 AIによる記述です
ダイアフラムの変位を静電容量の変化として検出し、絶対圧を電圧で出力する隔膜真空計(キャパシタンスマノメータ)です。気体の種類によらず圧力を直接測れるため、CVDやドライエッチングなどのプロセス圧力の監視・制御に使われます。
センサーを加熱しない温度補正型で、同シリーズの中では最も簡素な構成です。フルスケールは1・2・10・100・1000 Torrから選ばれており、精度は読みの0.25%、有効測定範囲はフルスケールの1×10⁻⁴までです。出力は0〜+10VDC、電源は±15VDCで、接続は15ピンのD-subコネクタです。接ガス部はインコネルです。
現品の銘板では電源±15VDC・35mAとピン配列が確認できますが、フルスケールは未確認です。レンジが用途を決めるため、購入前に確認が必要です。表示と電源には別途PDR系・PR4000・Type 660などの電源表示器が必要です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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