中古 MKS バラトロン Type627

ダイヤフラムが圧力でたわむと電極との間の静電容量が変わることを利用して、気体の種類によらず圧力を直接測る容量マノメータ(隔膜真空計)。絶対圧を測る型で、センサ部を一定温度に温めて保つ温調式のため、周囲温度の変化の影響を抑えて低い圧力域まで安定して測れる。CVDやエッチングなどのプロセス圧力の測定・制御に使われる。
現品銘板の値では、電源は±15VDC、250mA。コネクタのピン配列はPIN2が信号出力、PIN5が電源コモン、PIN6が−15VDC、PIN7が+15VDC、PIN12が信号コモン、PIN15がシャーシ。前面にゼロ調整穴がある。627シリーズの一般仕様では、温調温度は45℃。
フルスケール(測定レンジ)が銘板の写真の範囲に無く、確かめられていない。フルスケールによって測れる圧力域が決まるため、用途に合うかは現品の銘板で確かめる必要がある。