中古堀場エステック Stec ピエゾバルブ PV-1202MC

写真は準備中です。詳しくはお問い合わせください。

価格お見積りします

見積・送料・動作確認の結果をご案内します。通常1営業日以内にご返信します。

実機を見に来ていただけます(事前にご連絡ください)
大学・公的機関は後払い(請求書払い)できます
支払い・納期・返品について(よくある質問)

メーカー: 堀場エステック Stec
型式: PV-1202MC
機種: ピエゾバルブ
管理番号: E012728
引渡・支払: 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)

PV-1202MC の参考仕様

型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。

制御流量(フルスケール・N2換算)	2 L/min
制御流量(フルスケール・Ar換算)	1 L/min
制御流量(フルスケール・H2換算)	5 L/min
流量制御範囲	2〜100 %F.S.
バルブ方式(無通電時)	ノーマルオープン
応答性	0.5 s 以内
最大使用圧力	300 kPa(G)
動作差圧	300 kPa(d)
耐圧	1 MPa(G)
リーク規格(He)	1×10^-11 Pa・m3/s
使用温度範囲	5〜50 ℃
流量設定信号	0〜5 VDC
駆動電源	+15 VDC ±5% 50 mA / -15 VDC ±5% 50 mA(1.5 VA)
接ガス部材質	SUS316L
ガス接続	1/4インチ VCR

※流量値は入口大気開放・出口真空の条件でのフルスケール値です。実際の制御流量は使用ガス・一次圧・二次圧で変わります。

※本品はバルブ単体で流量計測機能を持たないため、流量・圧力制御には別途センサと制御ユニット(PCU シリーズ等)が必要です。

※社内の旧取扱説明書と英文カタログで一部の値が異なります(使用温度範囲 0〜50℃/5〜50℃、流量設定信号 0.1〜5 VDC/0〜5 VDC、応答性 0.5 秒以内/5 秒以内(T98))。年式・版により異なる可能性があります。

※カタログ注記ではノーマルクローズ型は PV-2203 と高温型 PV-1000S/2000S のみとされています。旧取説ではバルブ方式が「ノーマルオープン/クローズ型」とまとめて記載されており、現品の無通電時の状態は要確認です。型式末尾「MC」の意味は資料で確認できていません。

出典: メーカー資料

堀場エステック Stec PV-1202MC の装置概要　AIによる記述です

金属ダイアフラムと金属Oリングで構成したオールメタル構造のピエゾアクチュエータ駆動バルブで、HORIBA STEC の PV-1000/2000 シリーズに属します。単体では流量計測機能を持たず、圧力センサや流量センサ、比率制御ユニット(PCU シリーズ)と組み合わせて圧力制御系や流量制御系を構成する制御弁として使われます。
PV-1202MC は同シリーズの流量別型式のうち N2 換算フルスケール約 2 L/min の型式で、Ar 換算では約 1 L/min、H2 換算では約 5 L/min が目安です(入口大気開放・出口真空の条件での値)。流量制御範囲はフルスケールの 2〜100%、流量設定信号は 0〜5 VDC、駆動電源は ±15 VDC です。接ガス部は SUS316L、ガス接続は 1/4 インチ VCR で、He リーク規格は 1×10^-11 Pa・m3/s と、半導体プロセスの高純度ガスラインに組み込める仕様です。

※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。