中古 堀場エステック Stec ピエゾバルブ PV-1502MC

本装置は、半導体製造プロセスや各種真空成膜装置、実験用ガス導入ラインにおいて、ガスの質量流量を精密かつ高速に制御するためのマスフローコントローラです。
駆動部には、電磁式バルブと比較して極めて微細なリフト制御が可能なピエゾアクチュエータ（ピエゾバルブ）を採用しています。これにより、目標流量に対して1.0秒以下という優れた高速応答性を発揮し、ガス供給開始時のオーバーシュートやアンダーシュートを最小限に抑えた安定したプロセス制御を実現します。
接ガス部のシール構造には、ゴムなどの樹脂素材を使用しない「メタルシール」を採用しているため、クリーン度が高く、腐食性ガスや高純度ガスを用いたプロセスに最適です。アウトガスの発生や外部リークのリスクを極めて低く抑え、高真空・高純度環境下での長期にわたる安定稼働をサポートします。