中古 堀場エステック Stec ピエゾバルブ PV-1501MC

本装置は、半導体製造プロセスや真空成膜装置などのガスラインにおいて、極めて高速かつ高精度な流量・圧力制御を行うために設計されたピエゾアクチュエータ駆動型の精密制御バルブです。従来の電磁式バルブとは異なり、ピエゾ素子の微細な電圧応答変位を利用することで、ミリ秒単位の優れた応答速度と高い再現性を実現しています。特に、過渡的な流量変化の抑制や微小流量の精密な調整が要求されるプロセスにおいて優れたパフォーマンスを発揮します。

構造面では、接ガス部に耐食性に優れたステンレス鋼（SUS316L等）を採用し、メタルシール構造とすることで外部へのガス漏洩（リーク）を極限まで低減しています。これにより、高真空環境や腐食性ガス、超高純度ガスの制御にも適応可能です。バルブ形式は常時閉（ノーマリークローズ）仕様となっており、緊急時の安全遮断性にも配慮されています。外部の流量センサーや専用の駆動アンプ（コントローラ）と組み合わせることで、高度なマスフローコントロールシステムを構築することができます。