中古 堀場エステック Stec ピエゾバルブ PV-1502MC

本機は、ピエゾアクチュエータを駆動源とした常時閉（Normally Closed）型の高速・高精度な流量制御バルブ（ピエゾバルブ）です。主に半導体製造装置や精密ガス制御ライン、またはマスフローコントローラー（MFC）システムと連携する圧力・流量制御ユニットのキーデバイスとして採用されています。

電磁式バルブと比較して、ピエゾ素子の伸縮特性を活かした極めて早い応答特性（数十ミリ秒以下）を備えており、急激な圧力変動や流量変化に対しても瞬時に追従します。最大制御流量は窒素（N2）換算で2 L/min（2 SLM）のスペックを持ち、微少流量域から中流量域にかけて高い分解能と優れた再現性を発揮します。通電オフ時にバルブが閉じる常時閉仕様のため、異常発生時や停電時には自動的に流路を遮断し、プロセスの安全性を確保します。接ガス部には耐食性に優れたステンレス部材が採用されており、高純度ガスや特殊材料ガスの精密制御に適しています。