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中古 アルバック Ulvac イオンゲージ GI-D7

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GI-D7 の参考仕様

型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。

種別熱陰極型 電離真空計(三極管型WIT / B-A型WIB 測定子)
測定圧力範囲1.3×10⁻⁵〜6.7×10⁻¹(三極管型WIT)、1.3×10⁻⁶〜1.3×10⁻²(B-A型WIB) Pa
測定レンジ10⁻⁶〜10⁻¹Pa オートレンジ
測定精度±15 %
圧力表示デジタル表示(仮数部2桁・指数部1桁)
通信RS-232C(9600 / 19200 / 38400 bps)
セットポイント2点(接点容量 AC100V/0.5A)
レコーダ出力各桁仮数部リニア出力・全測定範囲擬似LOG出力(各DC 0〜10V)
脱ガス方式グリッド直接通電加熱
フィラメント保護WIT 8.0×10⁻¹Pa / WIB 2.0×10⁻¹Pa を超えてOFF
使用温度範囲10〜40 ℃
電源AC100V ±10% 50/60Hz
消費電力100VA(銘板は120W)
寸法240×350×99 mm
質量6(カタログ)、5.7(銘板) kg

出典: メーカー資料、現品の銘板

アルバック Ulvac GI-D7 の装置概要 AIによる記述です

本装置は、高真空から超高真空領域の圧力測定に用いられる熱陰極型のB-A(Bayard-Alpert)型電離真空計の測定子(センサー)です。測定原理として、加熱されたフィラメントから放出される熱電子を利用します。放出された電子はグリッド(陽極)に向けて加速され、その過程で空間内の残留気体分子と衝突して正イオンを生成します。この正イオンをコレクター(集電極)で捕捉し、得られた微小なイオン電流値を圧力に換算して測定する仕組みです。

測定圧力範囲は一般的に10^-1 Paから10^-7 Pa台に及びます。X線限界(軟X線による光電子放出に起因する測定下限の壁)を低減するB-A型の構造を採用しているため、精度の高い高真空測定を実現しています。外筒には内部の電極状態を目視で確認しやすい硬質ガラスが採用されており、真空排気設備の到達圧力モニターや各種研究開発用チャンバーに広く組み込まれています。

実際の測定には専用の電離真空計コントローラーが必要となり、一定のエミッション電流(一般的に数mA程度)を維持しながら制御されます。中古機械として導入を検討する際は、フィラメントの断線(導通不良)の有無や、長時間の使用に伴うガラス管内壁への金属蒸着(黒ずみや変色)、各電極の変形や汚れなどの物理的劣化がないかを事前に確認することが推奨されます。

※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。

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