中古クライオポンプ・クライオコンプレッサーの在庫・価格（住友重機械工業 Sumitomo Heavy Industries）
在庫 8点 価格 30,000〜300,000円（税別・送料別／価格掲載 8点） 過去の取扱 251件
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中古クライオポンプ・クライオコンプレッサーの在庫 8点
新しく登録した在庫から順に並べています。価格は税別・送料別です。
中古クライオポンプ・クライオコンプレッサーの価格の目安（住友重機械工業 Sumitomo Heavy Industries）
2026年10月10日時点で当社が販売している在庫のうち、価格を載せている8点の販売価格です(税別・送料別)。売却済の品の価格は含みません。同じ型式でも年式・状態・付属品で価格は変わります。
| メーカー | 型式 | 価格(税別) | 在庫 |
|---|---|---|---|
| 住友重機械工業 Sumitomo Heavy Industries | CNA-21A | 300,000円 | 2 |
| 住友重機械工業 Sumitomo Heavy Industries | CH-110 | 300,000円 | 1 |
| 住友重機械工業 Sumitomo Heavy Industries | RDK- | 200,000円 | 1 |
| 住友重機械工業 Sumitomo Heavy Industries | RDK-408E2 | 200,000円 | 1 |
| 住友重機械工業 Sumitomo Heavy Industries | SRPC-160 | 200,000円 | 1 |
クライオポンプ・クライオコンプレッサーについて
AIでまとめた分野の一般的な解説です。個々の商品の仕様・状態は各商品ページでご確認ください。
クライオポンプ・クライオコンプレッサーは、極低温に冷やした面に気体を凝縮させたり吸着させたりして排気するクライオポンプと、その冷却を支える冷凍機、ヘリウムの圧縮機、周辺の機器の分野である。油を使わず、水蒸気を大きな速さで排気できるため、スパッタ装置やイオン注入装置、半導体の製造装置、研究用の高真空・超高真空装置で広く使われている。ポンプの中に回転する部分が無いため振動が小さく、大きな口径でも比較的簡単な構造で高い排気速度が得られるのも特長である。
クライオポンプの冷却には、ギフォード・マクマホン(GM)方式などの小型の冷凍機が使われることが多い。ポンプ本体に組み込まれた冷凍機の冷える部分をコールドヘッドと呼び、二段の冷却ステージを持つ。一段目のパネルで主に水蒸気を凝縮させ、より冷たい二段目のパネルで窒素やアルゴンを凝縮させ、二段目に貼った活性炭で水素などの凝縮しにくい気体を吸着する。コールドヘッドへは、クライオコンプレッサーが圧縮したヘリウムガスをフレキシブルホースで送り、戻ってきたヘリウムを再び圧縮して循環させる。
クライオコンプレッサーの中には、ヘリウムに混ざる圧縮機の油分を取り除くアドソーバー(吸着器)があり、決まった運転時間で交換する消耗部品になっている。冷凍機は、クライオポンプのほか、試料を冷やすクライオスタットや、液体を使わない冷却装置にも使われ、極低温冷凍機として単体で扱われることもある。クライオメーターやクライオナビのような機器は、コールドヘッドの温度の表示や運転状態の管理、再生の手順を受け持つ。
液体窒素や液体ヘリウムを溜めるデュワーと、冷やした面で水蒸気などを捕まえるクライオトラップ(コールドトラップ)も、極低温を使う機器としてこの分野に入る。クライオトラップは拡散ポンプやターボ分子ポンプの吸気側に置いて、水蒸気の排気を補ったり油の蒸気を捕まえたりするのに使われる。
クライオポンプは溜め込み式のポンプなので、凝縮した気体が一定量に達したら、温めて気体を追い出す再生が要る。選ぶときは、排気したい気体と量、再生の頻度を許せるかを考え、停電や冷却水の停止で温まったときに再生をやり直す手間も含めて運用を見込んだうえで、ポンプの口径とコンプレッサーの能力、コールドヘッドとの組合せを決める。中古では、ポンプ本体とコンプレッサー、ホースが別々に流通することが多いため、組み合わせがそろうかと、コールドヘッドやアドソーバーの保守の履歴が要点になる。
中古クライオポンプ・クライオコンプレッサーを選ぶときの確認点
- コールドヘッドとの組合せ
- クライオコンプレッサーは、組み合わせるコールドヘッドの型式と数に対応しているかを確かめてください。冷凍機の能力に見合わない組合せでは、十分に冷えないことがあります。
- 冷却方式と入力電源
- コンプレッサーは水冷か空冷かで設置の条件が変わります。水冷なら冷却水の流量と温度、継手の形を、あわせて三相の入力電源の電圧と周波数が設置場所に合うかを確かめてください。
- アドソーバーと保守の履歴
- アドソーバーの交換時期と、コールドヘッドのオーバーホールの履歴が分かるかを確かめてください。運転時間計が付いている物は、その値も状態の目安になります。
- ヘリウムの充填とホース
- コンプレッサーとコールドヘッドが封入された状態か、ヘリウムの補充が要るかを確かめてください。フレキシブルホースの本数と長さ、継手が付属するかで、すぐに組めるかが変わります。
- 温度計と再生の機能
- クライオポンプは、二段目の温度を読む温度計や、再生の手順を行う制御器がそろうかで使い勝手が変わります。表示器や制御器の対応と、ヒーターや弁の有無を確かめてください。
- 前の使用プロセス
- 水素や有毒なガスを多く排気していた物は、再生のときの排気の扱いに注意が要ります。どのプロセスで使われていたかを確かめ、扱う前に十分に再生と置換を行う前提で計画してください。
AIでまとめた一般的な確認点です。個々の商品の付属品・状態は各商品ページでご確認ください。
クライオポンプ・クライオコンプレッサーのよくある質問
Qクライオポンプの再生とは何ですか？
Qメーカーの違うクライオコンプレッサーとコールドヘッドは組み合わせられますか？
Qクライオポンプとターボ分子ポンプはどう使い分けますか？
Qクライオポンプで水素やヘリウムは排気できますか？
Q使わなくなったクライオポンプ・クライオコンプレッサーを売ることはできますか？
クライオポンプ・クライオコンプレッサーの買取も行っています
不要になったクライオポンプ・クライオコンプレッサーがありましたら、無料で査定します。設備更新・研究終了・移転などで手放す予定の機器は、廃棄・処分する前に一度ご相談ください。1台から、研究室・工場の一括売却まで全国に対応します。