電子顕微鏡(SEM・TEM)は、光の代わりに電子線を試料に当てて像を作る顕微鏡と、その観察を支える試料作製の装置の分野である。電子線は光より波長がずっと短いため、光学顕微鏡では見えないナノメートルの尺度の形態まで観察できる。材料・金属・半導体・電子部品・生物など幅広い研究と、製造現場の不良解析や品質管理に使われる。
走査電子顕微鏡(SEM)は、細く絞った電子線で試料表面を走査し、出てくる二次電子や反射電子を検出して、表面の形や組成の違いを画像にする。焦点深度が深く、凹凸のある試料も立体感のある像で見られる。電子銃の方式で系統が分かれ、タングステンのフィラメントを加熱する熱電子放出型は扱いやすく、保守の負担が小さい。電界放出型(FE-SEM)は鋭い陰極から強い電界で電子を引き出し、電子線を細く明るく絞れるため、低い加速電圧でも高い分解能が得られ、微細なパターンや薄膜の観察に使われる。低真空で観察できる機種は、絶縁物や水分を含む試料をコーティングなしで見られ、卓上型の小形のSEMは設置の条件が軽い。
透過電子顕微鏡(TEM)は、ごく薄く加工した試料に高い加速電圧の電子線を通し、透過した電子で内部の結晶構造や格子の像を観察する。原子の配列に迫る分解能が得られる一方、電子が透過できる厚さまで試料を薄くする前処理が必要で、装置も大型になる。電子線を走査する機能を加えて走査透過電子顕微鏡(STEM)として使える機種もあり、分析装置と組み合わせてごく狭い領域の組成を調べられる。
観察を支える装置として、集束イオンビーム加工装置(FIB)と断面観察装置がある。FIBはガリウムなどのイオンを細く絞って試料を削り、狙った場所の断面を出したり、TEM用の薄片を切り出したりする。電子線の鏡筒を併せ持つ機種では、加工と観察を同じ装置の中で行える。断面観察装置は、アルゴンのイオンビームで試料の断面や表面を平滑に削るイオンミリングなどの装置で、機械研磨で生じるだれや傷のない断面を作り、SEMで観察する前の処理に使われる。
SEMには、エネルギー分散型X線分析装置(EDX)や結晶方位を調べる付属装置を組み合わせることが多く、形と元素の情報を同じ視野で得られる。選び分けは、見たい物の大きさと試料の性質で決まる。表面の形態や元素の分布を幅広く見るならSEM、より細かい表面の構造や低い加速電圧での観察ならFE-SEM、内部の結晶構造ならTEMとなり、狙った位置の断面や薄片を作るにはFIBや断面観察装置を組み合わせる。観察の目的に合わせて、本体と試料作製の装置、分析装置を一つの系として揃えることが、この分野の機器を使いこなす要点になる。

中古電子顕微鏡（SEM・TEM）を選ぶときの確認点

電子銃の方式と消耗品: 熱電子放出型はフィラメントの交換で済みますが、FE-SEMの電子銃は交換や再生に大きな手間と費用がかかります。フィラメントやアパーチャー、シンチレーターなどの消耗品が今も手に入るかを確かめます。
真空ポンプと冷却水の構成: 鏡筒と試料室を排気するロータリーポンプ、ターボ分子ポンプやイオンポンプの構成と状態を確かめます。拡散ポンプを使う機種や冷却水の循環装置が要る機種もあり、設置先の設備と合うかを見ます。
検出器と分析装置の構成: 二次電子と反射電子の検出器、低真空用の検出器、EDXの有無で、できる観察と分析が変わります。EDXは本体と別メーカーのことも多く、検出器の冷却方式と解析ソフトのライセンスを確かめます。
制御用パソコンとソフト: 操作用のパソコンが古いOSで動いていることが多く、ソフトと一体で引き継げるかが要点です。ソフトのライセンスやインストール媒体、画像の取込みボードが揃っているかを確かめます。
設置環境と搬入の経路: 電源の容量と相数、アース、床の振動や周囲の磁場の条件が分解能を左右します。本体と鏡筒の重量・寸法を確かめ、移設時の鏡筒の扱いには専門の作業が要るため、搬入の経路も事前に確かめます。
メーカーの保守と前の用途: 古い機種はメーカーの修理や部品の供給が終わっていることがあります。磁性の試料や汚れやすい試料を多く観察していた機種は鏡筒内の汚れが進んでいることもあり、前の使われ方も確かめます。

AIでまとめた一般的な確認点です。個々の商品の付属品・状態は各商品ページでご確認ください。

電子顕微鏡（SEM・TEM）のよくある質問

QSEMとFE-SEMはどう違いますか？

違いは電子銃の方式です。一般的なSEMは加熱したフィラメントから電子を出す熱電子放出型で、構造が簡単で保守もしやすい装置です。FE-SEMは強い電界で電子を引き出す電界放出型で、電子線を細く明るく絞れるため、高い倍率や低い加速電圧での観察に向きます。その分、電子銃の部分に高い真空と専用の排気系が必要になります。

Q絶縁物の試料はSEMで観察できますか？

高真空のSEMで絶縁物に電子線を当てると、表面に電荷がたまって(チャージアップ)像が乱れます。金や白金、カーボンなどの薄い膜を付けて導電性を持たせるのが一般的です。低真空モードを備えた機種では、試料室に残したガスで電荷を中和でき、コーティングなしで観察できます。加速電圧を下げて抑える方法もあります。

QSEMとTEMはどう使い分けますか？

SEMは試料の表面の形態や組成の違いを観察する装置で、比較的大きな試料もそのまま入れられます。TEMは電子線が透過できるほど薄くした試料の内部を観察し、結晶の構造や格子の欠陥、界面の様子まで見られます。表面の形ならSEM、内部の微細な構造ならTEMが基本で、TEM用の薄片はFIBなどで作ります。

Q断面観察装置はどんな時に使いますか？

多層膜や電子部品、めっき、複合材料などの断面をSEMで観察する前の処理に使います。機械研磨では柔らかい層がだれたり、硬さの違う層の境界が乱れたりしますが、アルゴンのイオンで削ると平滑で傷の少ない断面が得られます。表面の加工による変質層を取り除く平面のミリングにも使われます。

Q使わなくなった電子顕微鏡（SEM・TEM）を売ることはできますか？

はい。電子顕微鏡（SEM・TEM）の買取も行っています。査定は無料です。メーカー・型式・年式・動作の状態が分かれば、より正確に査定できます。

支払い・納期・返品について(よくある質問の一覧)

電子顕微鏡（SEM・TEM）の買取も行っています

不要になった電子顕微鏡（SEM・TEM）がありましたら、無料で査定します。設備更新・研究終了・移転などで手放す予定の機器は、廃棄・処分する前に一度ご相談ください。1台から、研究室・工場の一括売却まで全国に対応します。

無料査定を依頼する　顕微鏡の買取について　買取対象カテゴリ一覧