中古 Convectron Gauge
メーカー名
Granville-Phillips
型式No275
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
20,000円
【AIによる装置概要】
気体の熱伝導と対流現象を応用し、高真空から大気圧までの広い圧力領域を単一のセンサーで測定可能な対流式真空計です。一般的な熱伝導真空計（ピラニ真空計）の測定上限が数Torr程度であるのに対し、本装置は1 Torr以上の圧力下で生じる気体の自然対流による冷却効果を測定値に反映させる独自の構造を採用しています。これにより、1.0 × 10^-4 Torrから1000 Torr（大気圧）までの連続的かつシームレスな圧力モニタリングを実現しています。
応答速度に優れており、急激な圧力変動に対してもミリ秒単位で素早く追従します。半導体製造プロセス、真空炉、各種分析機器などにおいて、大気圧からの粗引き段階から高真空領域への排気プロセス監視用として広く導入されています。なお、気体の対流効果を正確に測定へ利用するため、1 Torr以上の圧力を計測する環境下においては、センサー軸を水平に保つ姿勢で設置することが構造上の仕様として求められます。
【AIによる参考仕様】
・測定原理：対流式熱伝導
・測定圧力範囲：1.0 × 10^-4 Torr ～ 1000 Torr （1.3 × 10^-2 Pa ～ 1.33 × 10^5 Pa）
・フィラメント材質：金メッキタングステン（標準）、またはプラチナ
・許容最大内圧：150 psig （約 10.3 bar）
・動作温度範囲：0 ℃ ～ 50 ℃
・最大ベーキング温度：150 ℃ （ケーブル取り外し状態時）
・設置方向の制約：1 Torr以上の測定を行う場合はセンサー中心軸を水平に設置
・互換コントローラー例：同社製 275、375、475、VGCシリーズなど
※上記は標準的なセンサー単体の仕様です。接続フランジの形状や構成パーツによって一部数値や制限が異なる場合があります。
気体の熱伝導と対流現象を応用し、高真空から大気圧までの広い圧力領域を単一のセンサーで測定可能な対流式真空計です。一般的な熱伝導真空計（ピラニ真空計）の測定上限が数Torr程度であるのに対し、本装置は1 Torr以上の圧力下で生じる気体の自然対流による冷却効果を測定値に反映させる独自の構造を採用しています。これにより、1.0 × 10^-4 Torrから1000 Torr（大気圧）までの連続的かつシームレスな圧力モニタリングを実現しています。
応答速度に優れており、急激な圧力変動に対してもミリ秒単位で素早く追従します。半導体製造プロセス、真空炉、各種分析機器などにおいて、大気圧からの粗引き段階から高真空領域への排気プロセス監視用として広く導入されています。なお、気体の対流効果を正確に測定へ利用するため、1 Torr以上の圧力を計測する環境下においては、センサー軸を水平に保つ姿勢で設置することが構造上の仕様として求められます。
【AIによる参考仕様】
・測定原理：対流式熱伝導
・測定圧力範囲：1.0 × 10^-4 Torr ～ 1000 Torr （1.3 × 10^-2 Pa ～ 1.33 × 10^5 Pa）
・フィラメント材質：金メッキタングステン（標準）、またはプラチナ
・許容最大内圧：150 psig （約 10.3 bar）
・動作温度範囲：0 ℃ ～ 50 ℃
・最大ベーキング温度：150 ℃ （ケーブル取り外し状態時）
・設置方向の制約：1 Torr以上の測定を行う場合はセンサー中心軸を水平に設置
・互換コントローラー例：同社製 275、375、475、VGCシリーズなど
※上記は標準的なセンサー単体の仕様です。接続フランジの形状や構成パーツによって一部数値や制限が異なる場合があります。