中古 Granville-Phillips マルチゲージコントローラー 360B

本装置は、複数の真空測定モジュールを統合して制御・表示を行うモジュール式の真空計コントローラーです。各種プラグインモジュールを組み込むことで、超高真空から大気圧（約1.0×10^-10 Torr ～ 1000 Torr）までの広範な圧力帯域を1台でモニタリングできる設計となっています。前面パネルには視認性の高いデジタルLEDディスプレイを備え、圧力値の指数表示および各測定チャンネルのステータス確認を容易に行うことが可能です。

また、本品には超小型ベアード・アルパート（B-A）型イオンゲージである「356（Micro-Ionゲージ）」が付属しています。このゲージは、従来のガラス管型イオンゲージに比べて占有容積が小さく、限られたスペースにもフランジ直付け等で設置しやすい構造でありながら、5.0×10^-10 Torrから5.0×10^-2 Torrまでの高真空領域を測定できる特性を持っています。コントローラーからの制御によってエミッション電流の最適化やデガス（脱ガス）操作を実行し、測定の信頼性と安定性を維持します。半導体製造装置、真空蒸着、スパッタリング装置、または各種分析機器における真空チャンバーの圧力管理や排気プロセスの監視といった用途に広く適用されます。