中古 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁）
メーカー名
Smc
型式XYA-40H0
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
15,000円
【AIによる装置概要】
本機は、半導体製造プロセスや各種真空装置の排気ラインなどに用いられるアルミニウム製の高真空ストレートバルブ（空圧式・単作動ノーマルクローズ）です。フランジサイズはKF40に対応しており、大気圧から1×10^-6 Pa台の高真空領域までの幅広い圧力範囲で使用可能です。
ボディ材質にアルミニウム合金を採用することで、軽量かつコンパクトな設計が実現されており、装置への組み込みやメンテナンス時の作業負担を軽減します。また、真空シール材にはFKM（フッ素ゴム）が標準採用されており、内部・外部ともに1.3×10^-10 Pa・m^3/s以下の極めて低いリーク量を実現し、高い真空密閉性を維持します。
空圧弁として0.4〜0.7 MPaの操作エア圧力で駆動し、ばね戻り式のノーマルクローズ機構を備えています。これにより、停電時やエア供給停止時には自動的にバルブが閉鎖され、真空チャンバー側の安全を確保するフェイルセーフ機能として働きます。ストレート形状であるため、配管を一直線にレイアウトしたい箇所に適しており、粗引きラインやメイン排気ラインの真空制御に幅広く活用できるコンポーネントです。
【AIによる参考仕様】
・バルブ形式：高真空ストレートバルブ
・作動方式：空圧式・単作動（ノーマルクローズ / ばね戻り式）
・フランジサイズ：KF40（NW40）
・使用圧力範囲：大気圧 ～ 1×10^-6 Pa（絶対圧）
・操作圧力範囲：0.4 ～ 0.7 MPa（ゲージ圧）
・許容リーク量（内部・外部）：1.3×10^-10 Pa・m^3/s 以下（常温時）
・使用温度範囲：5 ～ 60℃
・耐圧力：0.2 MPa（ゲージ圧）
・ボディ材質：アルミニウム合金
・シール材質：FKM（フッ素ゴム）
本機は、半導体製造プロセスや各種真空装置の排気ラインなどに用いられるアルミニウム製の高真空ストレートバルブ（空圧式・単作動ノーマルクローズ）です。フランジサイズはKF40に対応しており、大気圧から1×10^-6 Pa台の高真空領域までの幅広い圧力範囲で使用可能です。
ボディ材質にアルミニウム合金を採用することで、軽量かつコンパクトな設計が実現されており、装置への組み込みやメンテナンス時の作業負担を軽減します。また、真空シール材にはFKM（フッ素ゴム）が標準採用されており、内部・外部ともに1.3×10^-10 Pa・m^3/s以下の極めて低いリーク量を実現し、高い真空密閉性を維持します。
空圧弁として0.4〜0.7 MPaの操作エア圧力で駆動し、ばね戻り式のノーマルクローズ機構を備えています。これにより、停電時やエア供給停止時には自動的にバルブが閉鎖され、真空チャンバー側の安全を確保するフェイルセーフ機能として働きます。ストレート形状であるため、配管を一直線にレイアウトしたい箇所に適しており、粗引きラインやメイン排気ラインの真空制御に幅広く活用できるコンポーネントです。
【AIによる参考仕様】
・バルブ形式：高真空ストレートバルブ
・作動方式：空圧式・単作動（ノーマルクローズ / ばね戻り式）
・フランジサイズ：KF40（NW40）
・使用圧力範囲：大気圧 ～ 1×10^-6 Pa（絶対圧）
・操作圧力範囲：0.4 ～ 0.7 MPa（ゲージ圧）
・許容リーク量（内部・外部）：1.3×10^-10 Pa・m^3/s 以下（常温時）
・使用温度範囲：5 ～ 60℃
・耐圧力：0.2 MPa（ゲージ圧）
・ボディ材質：アルミニウム合金
・シール材質：FKM（フッ素ゴム）