中古 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁）
メーカー名
Smc
型式XYA-40H0
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
15,000円
【AIによる装置概要】
本製品は、軽量かつコンパクトなアルミニウム合金ボディを採用した空圧作動式の高真空ストレートバルブです。配管と同軸上にポートが配置されるストレート構造により、真空ラインを直線的にレイアウトすることが可能で、配管スペースの削減と装置全体の省スペース化に貢献します。フランジサイズはNW40（KF40）規格に準拠しており、コンダクタンスは45 L/sを確保しています。
駆動には0.4〜0.5 MPaの圧縮空気を使用し、安定した開閉動作を実現します。大気圧から1×10^-6 Paまでの高真空領域に対応し、内部漏れ量は1.3×10^-10 Pa・m3/s以下、外部漏れ量は1.3×10^-11 Pa・m3/s以下と、極めて高い気密性を備えています。半導体製造装置、真空蒸着装置、各種分析機器などにおいて、真空チャンバーの排気ラインや、粗引き・本引きラインの確実な遮断・開放制御に幅広く用いられています。また、アルミニウム製のため同サイズのステンレス製バルブと比較して軽く、メンテナンス時の作業性向上や装置の軽量化にも寄与する設計となっています。
【AIによる参考仕様】
・バルブ形式：高真空ストレートバルブ
・駆動方式：空圧作動式
・フランジサイズ：NW40（KF40相当）
・ボディ材質：アルミニウム合金
・使用圧力範囲：大気圧 ～ 1×10^-6 Pa
・操作圧力（空圧）：0.4 ～ 0.5 MPa
・コンダクタンス：45 L/s
・許容漏れ量（内部）：1.3×10^-10 Pa・m3/s 以下（常温時）
・許容漏れ量（外部）：1.3×10^-11 Pa・m3/s 以下（常温時）
・使用流体：非腐食性ガス
・取付姿勢：任意
・耐圧力（バルブ両端）：0.1 MPa（大気圧との差圧として）
※上記は当該シリーズ（フランジサイズ40）の基本カタログ仕様に基づく参考値です。末尾記号（H0）に関わる詳細なオプション（特殊シール材質、ヒーター用加工の有無など）については、現品の状態を優先してご確認ください。
本製品は、軽量かつコンパクトなアルミニウム合金ボディを採用した空圧作動式の高真空ストレートバルブです。配管と同軸上にポートが配置されるストレート構造により、真空ラインを直線的にレイアウトすることが可能で、配管スペースの削減と装置全体の省スペース化に貢献します。フランジサイズはNW40（KF40）規格に準拠しており、コンダクタンスは45 L/sを確保しています。
駆動には0.4〜0.5 MPaの圧縮空気を使用し、安定した開閉動作を実現します。大気圧から1×10^-6 Paまでの高真空領域に対応し、内部漏れ量は1.3×10^-10 Pa・m3/s以下、外部漏れ量は1.3×10^-11 Pa・m3/s以下と、極めて高い気密性を備えています。半導体製造装置、真空蒸着装置、各種分析機器などにおいて、真空チャンバーの排気ラインや、粗引き・本引きラインの確実な遮断・開放制御に幅広く用いられています。また、アルミニウム製のため同サイズのステンレス製バルブと比較して軽く、メンテナンス時の作業性向上や装置の軽量化にも寄与する設計となっています。
【AIによる参考仕様】
・バルブ形式：高真空ストレートバルブ
・駆動方式：空圧作動式
・フランジサイズ：NW40（KF40相当）
・ボディ材質：アルミニウム合金
・使用圧力範囲：大気圧 ～ 1×10^-6 Pa
・操作圧力（空圧）：0.4 ～ 0.5 MPa
・コンダクタンス：45 L/s
・許容漏れ量（内部）：1.3×10^-10 Pa・m3/s 以下（常温時）
・許容漏れ量（外部）：1.3×10^-11 Pa・m3/s 以下（常温時）
・使用流体：非腐食性ガス
・取付姿勢：任意
・耐圧力（バルブ両端）：0.1 MPa（大気圧との差圧として）
※上記は当該シリーズ（フランジサイズ40）の基本カタログ仕様に基づく参考値です。末尾記号（H0）に関わる詳細なオプション（特殊シール材質、ヒーター用加工の有無など）については、現品の状態を優先してご確認ください。